Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB:
Photonik
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Wildau
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Zusammenfassung: | Photonik |
| Beschreibung: | VII, 99 Blätter Illustrationen |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV035805464 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20200212 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 091103s2009 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)916747189 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV035805464 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-526 | ||
| 100 | 1 | |a Kampe, Annett |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB |
| 264 | 1 | |a Wildau |c 2009 | |
| 300 | |a VII, 99 Blätter |b Illustrationen | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |b Masterarbeit |c Technische Hochschule |g PM02/05(07) | ||
| 520 | |a Photonik | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Lithografie |0 (DE-588)4036042-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Reflektometrie |0 (DE-588)4296759-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Extremes Ultraviolett |0 (DE-588)4264163-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Reflexionskoeffizient |0 (DE-588)4177334-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a EUV-Spektrometer |0 (DE-588)4153239-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Extremes Ultraviolett |0 (DE-588)4264163-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Lithografie |0 (DE-588)4036042-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a EUV-Spektrometer |0 (DE-588)4153239-9 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Reflexionskoeffizient |0 (DE-588)4177334-2 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Reflektometrie |0 (DE-588)4296759-4 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | |q application/pdf |u http://wilbert.kobv.de/tocs/63710.pdf |3 Inhaltsverzeichnis | |
| 940 | 1 | |q BTW-Scan | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018664505 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804140753398530048 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Kampe, Annett |
| author_facet | Kampe, Annett |
| author_role | aut |
| author_sort | Kampe, Annett |
| author_variant | a k ak |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV035805464 |
| ctrlnum | (OCoLC)916747189 (DE-599)BVBBV035805464 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01651nam a2200433 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV035805464</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20200212 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">091103s2009 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)916747189</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV035805464</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-526</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kampe, Annett</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Wildau</subfield><subfield code="c">2009</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">VII, 99 Blätter</subfield><subfield code="b">Illustrationen</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Masterarbeit</subfield><subfield code="c">Technische Hochschule</subfield><subfield code="g">PM02/05(07)</subfield></datafield><datafield tag="520" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Photonik</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4036042-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Reflektometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296759-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Extremes Ultraviolett</subfield><subfield code="0">(DE-588)4264163-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Reflexionskoeffizient</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177334-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">EUV-Spektrometer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153239-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Extremes Ultraviolett</subfield><subfield code="0">(DE-588)4264163-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Lithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4036042-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">EUV-Spektrometer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153239-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Reflexionskoeffizient</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177334-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Reflektometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296759-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://wilbert.kobv.de/tocs/63710.pdf</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">BTW-Scan</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018664505</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV035805464 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:04:59Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018664505 |
| oclc_num | 916747189 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-526 |
| owner_facet | DE-526 |
| physical | VII, 99 Blätter Illustrationen |
| psigel | BTW-Scan |
| publishDate | 2009 |
| publishDateSearch | 2009 |
| publishDateSort | 2009 |
| record_format | marc |
| spelling | Kampe, Annett Verfasser aut Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB Wildau 2009 VII, 99 Blätter Illustrationen txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Masterarbeit Technische Hochschule PM02/05(07) Photonik Lithografie (DE-588)4036042-8 gnd rswk-swf Reflektometrie (DE-588)4296759-4 gnd rswk-swf Extremes Ultraviolett (DE-588)4264163-9 gnd rswk-swf Reflexionskoeffizient (DE-588)4177334-2 gnd rswk-swf EUV-Spektrometer (DE-588)4153239-9 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Extremes Ultraviolett (DE-588)4264163-9 s Lithografie (DE-588)4036042-8 s EUV-Spektrometer (DE-588)4153239-9 s Reflexionskoeffizient (DE-588)4177334-2 s Reflektometrie (DE-588)4296759-4 s DE-604 application/pdf http://wilbert.kobv.de/tocs/63710.pdf Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Kampe, Annett Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB Lithografie (DE-588)4036042-8 gnd Reflektometrie (DE-588)4296759-4 gnd Extremes Ultraviolett (DE-588)4264163-9 gnd Reflexionskoeffizient (DE-588)4177334-2 gnd EUV-Spektrometer (DE-588)4153239-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4036042-8 (DE-588)4296759-4 (DE-588)4264163-9 (DE-588)4177334-2 (DE-588)4153239-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB |
| title_auth | Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB |
| title_exact_search | Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB |
| title_full | Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB |
| title_fullStr | Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB |
| title_full_unstemmed | Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB |
| title_short | Entwicklung einer Methode zur polarisationsaufgelösten Messung des Reflexionsgrades von Multilayer-Optiken mit dem EUV-Reflektometer der PTB |
| title_sort | entwicklung einer methode zur polarisationsaufgelosten messung des reflexionsgrades von multilayer optiken mit dem euv reflektometer der ptb |
| topic | Lithografie (DE-588)4036042-8 gnd Reflektometrie (DE-588)4296759-4 gnd Extremes Ultraviolett (DE-588)4264163-9 gnd Reflexionskoeffizient (DE-588)4177334-2 gnd EUV-Spektrometer (DE-588)4153239-9 gnd |
| topic_facet | Lithografie Reflektometrie Extremes Ultraviolett Reflexionskoeffizient EUV-Spektrometer Hochschulschrift |
| url | http://wilbert.kobv.de/tocs/63710.pdf |
| work_keys_str_mv | AT kampeannett entwicklungeinermethodezurpolarisationsaufgelostenmessungdesreflexionsgradesvonmultilayeroptikenmitdemeuvreflektometerderptb |