Wirtschaftliche Mikrobearbeitung: Wege zur Perfektion mit Luftlagertechnik und optischer Messtechnik
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
München [u.a.]
Hanser
2009
|
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
Beschreibung: | XXIX, 479 S. Ill., graph. Darst. 28 cm 1 CD-ROM (12 cm) |
ISBN: | 9783446413405 3446413405 |
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adam_text | INHALTSVERZEICHNIS VORWORT V DANKSAGUNG VII EINLEITUNG XXIII LITERATUR
XXIX TEIL 1 - LUFTLAGERUNG - EIN WEG ZUR STOERUNGSFREIEN
BEWEGUNGSGEOMETRIE I 1.1 WAS HEISST HIER STOERUNGSFREI BZW. STOERUNGSARM?
DER TYPISCHE FALL: 5 1.1.1 LASTVERSCHIEBUNG AUF IM-DUENNEM LUFTFLLM 5
1.2 LUFTDRUCK-SCHMIERMITTEL, ERLAEUTERT DURCH SIMPLE MODELLE 6 1.2.1
LUFTLAGERFUNKTION DURCH EINLASSDROSSELUNG (UNTERBERGERS WEG) 7 1.2.2
LUFTLAGERFUNKTION DURCH AUSLASSDROSSELUNG (ADAMS WEG) 9 1.2.3 LUFTLAGER
MIT AUSLASSDROSSELUNG; QUALITATIVE ABSCHAETZUNGEN VON BELASTBARKEIT,
WIRKUNGSGRAD UND STEIFE 10 1.3 PLANARFUEHRUNG MITTELS LUFTLAGERFUESSEN AUF
EBENEN FLAECHEN 13 1.3.1 BEKANNTE LUFTLAGERFUESSE FUER NAHEZU IDEALE
BEWEGUNGSGEOMETRIE 13 1.3.2 GUTE LAGER - SCHLECHT DURCH SCHWACHE
ABSTUETZUNG 14 1.3.3 RINGFOERMIGE DRUCKVERSORGUNG BEI FUESSEN UND
SPINDELSPURSCHEIBEN 16 1.4 SCHRAEGE ERSETZT STUFE (= AD-KEILTECHNIK) 18
1.4.1 IN DER KEILTECHNIK VERSTECKTE FEHLER 19 1.5 VIELSEITIG VERWENDBARE
LAGERUNGSGEOMETRIE DURCH STUFE-/KEIL-TECHNIK 19 1.6 LUFTLAGERSPINDELN
MIT MEHRTEILIGEM ROTOR 20 1.6.1 DIE *PROFESSIONAL INSTRUMENTS
BLOCK-HEAD-SPINDEL 20 1.6.2 DIE SPINDELLOESUNG NACH WATT (GENERAL UTILITY
HYDROSTATIC SPINDLE) 21 1.6.2.1 WATT-INTOP-LUFTLAGERSPINDEL, IN BEIDEN
ACHSRICHTUNGEN SELBSTKOMPENSIEREND 23 1.6.2.2 AD-LAGER MIT
SELBSTREGELNDEN EIGENSCHAFTEN - FLEXIBLE MEMBRANEN 24 1.6.2.3 TYPISCHE
ANWENDUNG DER SELBSTKOMPENSIERENDEN WATT-INTOP-SPINDEL 25 1.6.
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/986588369 DIGITALISIERT
DURCH INHALTSVERZEICHNIS 1.7 VIELSEITIGE VERWENDUNG DER LAGERUNG *KUGEL
IN KALOTTE 29 1.7.1 DOPPEL-KALOTTEN-LAGERSPINDELN 29 1.7.2 ... ALS
LUFTGELAGERTE *SPITZEN 30 1.7.3 SHELTONS *VERITAS -LINEARITAETS-MESSUNG
31 1.7.4 DIE LUFTGELAGERTE KUGEL, IN *VOLLFORM 32 1.7.5 ... ALS
KARDANISCHES KREISELLAGER 32 1.7.6 KUGELKALOTTE ZUR ZENTRIER-EINSTELLUNG
(A, SS, X, Y) AUF DREHTISCHEN 33 1.8 ADL DURCH FURCHENTECHNIK IN SPINDELN
UND LINEARFUEHRUNGEN 33 1.8.1 *GROOVED BEARING - LAGERFLAECHEN MIT
FURCHEN 33 1.8.1.1 FLAECHEN UND FURCHEN IN GLEICHER AUFSPANNUNG MIT
GLEICHEM WERKZEUG 34 1.8.1.2 WIRKUNG DER FURCHEN IN AEROSTATISCHEN
LAGERN 36 1.8.2 PREISWERTE HERSTELLUNG DER FURCHEN - HUELSEN AUF STANGEN
AUCH BEI UNIKATEN 37 1.8.3 AD-FURCHEN, FLAECHENKONFORM AUF SPHAERISCHEN
FLAECHEN 38 1.8.4 GLEICHHEIT DER FURCHEN UNTEREINANDER 39 1.9
KONSTRUKTIONSVORTEILE DURCH ADL 40 1.9.1 AD-LAGERUNG IN LINEAR- UND
PLANARFUEHRUNGEN 40 1.9.2 VORSPANNUNG DURCH UNTERDRUCK 40 1.9.3 ZYLINDER-
BZW. STANGENLAGER FUER LINEARFUEHRUNGEN 40 1.9.4 AD-ZYLINDERLAGERUNGEN MIT
AXIALER PNEUMATISCHER VORSPANNUNG: EINTEILIGER ROTOR MIT ZWEI
DURCHMESSERN 42 1.9.5 VORSCHUBBEWEGUNG MITTELS PNEUMATISCHER VORSPANNUNG
DES ROTORS NACH ABSCHNITT 1.9.4 44 1.9.6 DIE PNEUMATISCHE VORSPANNUNG
VON SPINDELN - ALTERNATIVEN 45 1.9.6.1 TYPISCHE ANWENDUNG EINES
AD-ZYLINDERLUFTLAGERS: LUFTLAGERBOHRSPINDEL 45 1.9.6.2 LONGITUDINAL
PENDELNDE SCHLEIFSPINDEL 47 1.10 DER ZWANG ZUR WIRTSCHAFTLICHKEIT,
LUFTLAGERSPINDELN MIT EINTEILIGEM ROTOR 48 1.10. INHALTSVERZEICHNIS
1.12.2.3 GUTE LUFTLAGERSPINDELN SCHLECHT GEMACHT 62 1.12.4.1 EIN
BEISPIEL AUS DER MIKROBEARBEITUNG 63 1.12.4.2 DAS GLEICHE AUCH IM
*SCHWERMASCHINENBAU 63 1.12.4.3 IDEAL UNGUENSTIGE ANTRIEBE 64 1.13
LITERATUR UND ADRESSEN FUER WEITERFUEHRENDE INFORMATIONEN 65 TEIL 2 -
PRODUKTIONSVERFAHREN FUER LUFTLAGERUNGEN 69 2.1 OBERFLAECHEN WIE IN DER
OPTIK = OBERFLAECHEN FUER LUFTLAGERUNGEN 71 2.1.1 LAEPPEN - EINE
HINTERHOFTECHNIK? 71 2.1.2 STAMPERPLATTEN FUER CDS - GENAUER ALS
OPTIKFLAECHEN 73 2.2 LAEPPEN VON PLANSCHEIBEN 74 2.2.1 MESSUNG DER
ABTRAGSRATE BEIM LAEPPEN 76 2.2.2 FORMEINHALTUNG DER PLANLAEPPSCHEIBE 76
2.2.3 WISSENSWERTE DETAILS ZUM LAEPPEN/POLIEREN 79 2.2.4 ZWEI MARKANTE
LAEPPZUSTAENDE 79 2.2.5 KOERNUNGEN 80 2.2.5.1 HOMOGENISIEREN EINES
SCHLEIFBELAGS - EINE PROJEKTSKIZZE 81 2.2.5.2 HOMOGENE KOERNUNG BEIM
LAEPPEN - PROBLEMLOESUNG MIKROBEARBEITUNG 85 2.2.6 SUENDEN BEIM LAEPPEN 85
2.3 REINIGEN (AUSFUEHRLICH AUCH BEI *ABFORMEN ) 85 2.4 LAEPPEN VON
HARTELOXAL/ALUMINIUM: BEVORZUGT FUER LUFTLAGERUNGEN 85 2.5 BEWERTUNG DES
LAEPPERGEBNISSES - WAS MAN VISUELL SOFORT ERKENNT (ABB. 2.7) 87 2.5.1
MESSEN DER PLANFLAECHENABWEICHUNGEN MIT DEM INTERFEROMETER 88 2.5.1.1
GEBRAUCH DES SPHAEROMETERS (ABB. 2.20) 89 2.6 STUFEN UND TASCHEN FUER
LUFTLAGERUNGEN IN HARTELOXAL 9 INHALTSVERZEICHNIS 2.9.2 GEBUNDENE
KOERNUNG IN HAUSMACHER-SCHLEIFSCHEIBEN 98 2.9.3 WO LOHNT DAS SCHLEIFEN?
98 2.9.4 FESTEINSTELLUNG (SCHLEIFRING) ERSETZT SELBSTEINSTELLUNG
(LAEPPRING) 99 2.10 DER ENTARTETE SPHAEREN-GENERATOR 100 2.11 REINIGUNG -
BEFREIUNG VOM LAEPPSCHLAMM 103 2.12 DAS SPHAEROMETER 104 2.13
KUGELFERTIGUNG - IMMER BEI NULL ANFANGEN? 104 2.14 LITERATUR UND
ADRESSEN FUER WEITERFUEHRENDE INFORMATIONEN 104 TEIL 3 -ABFORMTECHNIK 107
3.1 EINFUEHRUNG 109 3.2 SICHERSTELLUNG VON HAFTUNG UND TRENNUNG DER
AUSGEHAERTETEN GLEITBELAGSCHICHT 109 3.2.1 TRENNEN DER ABFORMSCHICHT 111
3.2.2 VORBEREITUNG DES HAFTGRUNDES - ENTFETTEN, REINIGEN 112 3.2.3
VORBEREITUNG DER ABFORMUNG 114 3.2.4 MISCHEN DER KOMPONENTEN UND
EXTRUDIEREN/INTRUDIEREN IN DAS ABFORMOBJEKT 116 3.2.5 VORRICHTUNG
VEREINFACHT KOMPONENTENMISCHUNG 117 3.2.6 ZWISCHENSCHICHTEN, ENTFERNBARE
UND ANDERE 117 3.2.6.1 TRENNSCHICHTEN ALTERNATIV ZU NICKEL? 118 3.2.6.2
ABZURATEN: LUFTSPALT DURCH LAEPPEN *ROTOR/ STATOR 118 3.2.7 *TASCHEN
FUER LUFTLAGER MIT EINLASSDROSSELUNG 119 3.2.8 EINBAU VON
EINLASSDROSSELN, DUESEN 119 3.2.8.1 DIE RUDIMENTAERE HANDWERKLICHE
AUSFUEHRUNG AUSGEDEHNTER LAGERFLAECHEN 121 3.3 LAEPPEN UND POLIEREN DER
MOGLICE-SCHICHTE INHALTSVERZEICHNIS 3.7 DIE SUSPENSION 129 3.8 MOGLICE
ALS FUGENFUELLER 129 3.9 MOGLICE-ARTIGER ABFORMBARER BREMSBELAG 129 3.10
HAVARIE 130 3.11 REINIGUNG VON MOGLICE-SCHICHTEN 130 3.12 ANDERE
ABFORMMATERIALIEN 130 3.13 ABSCHLIESSENDE EMPFEHLUNG 130 3.14 LITERATUR
UND ADRESSEN FUER WEITERFUEHRENDE INFORMATIONEN 131 TEIL 4 - RIGOROSE
MESSTECHNISCHE PRUEFUNG VON LUFTLAGERSPINDELN VOR IHREM EINSATZ 135 4.1
EINFUEHRUNG 137 4.1.1 MESSTECHNISCHE UNTERSUCHUNG DER ED-LUFTLAGERSPINDEL
VOM TYP WATT-INTOP 137 4.1.2 STATISCHES VERHALTEN DER SPINDEL, STEIFE
UND MESSUNGEN 138 4.1.3 PRUEFSTAND 139 4.1.4 MESSAUFBAU FUER AXIALE
BELASTUNG 139 4.1.4.1 MESSAUFBAU FUER RADIALE BELASTUNG 140 4.1.5
KALIBRIERUNG DER BELASTUNGSEINRICHTUNG 141 4.1.5.1 KALIBRIERUNG DER
MESSTASTER 141 4.1.6 VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 142 4.1.6.1
TRAGFAEHIGKEITSGRENZEN 142 4.1.7 ERGEBNISSE BEI RADIALER BELASTUNG 144
4.1.8 ZUSAMMENFASSUNG DES STATISCHEN VERHALTENS 145 4.2 UEBER SYNCHRONE
ABWEICHUNGEN VON RUND- UND PLANLAUF 145 4.2.1 EINFUEHRUNG -
LUFTLAGERSPINDEL = RUNDLAUFREFERENZ 145 4.2.2 DIE GLEICHFOERMIGE
ABWEICHUNG VOM RUNDLAUF DER DREHACHSE (GAR) 149 4.2.3 DIE RUNDLAUFFALLE
149 4.2.4 MESSUNG DER GLEICHFOERMIGEN ABWEICHUNG VOM RUNDLAUF (GAR) 151
4.2.4.1 MESSUNG DER LOKALEN ABWEICHUNG DES KUGELRADIUS MIT DEM
INTERFEROMETER 154 4.2. XIV INHALTSVERZEICHNIS 4.3.3 WESENTLICHES
ERGEBNIS: KLONEN 160 4.3.4. GESTALTUNG EINER WERKSTUECKSPINDEL FUER
*NORMAL- BZW. *REFERENZ -FERTIGUNG 160 4.3.5 ZYLINDER-ROHR: PERFEKT
KONZENTRISCHE ZYLINDERFLAECHEN 162 4.4 ABWEICHUNG VOM PLANLAUF 162 4.5
DIE TAUMELBEWEGUNG (GAW UND UGAW) 164 4.5.1 WO STOERT DIE GLEICHFOERMIGE
TAUMELABWEICHUNG? 165 4.6 MESSUNG DER GAW/INTERFEROMETRISCHE BEOBACHTUNG
166 4.6.1 DIE MESSTECHNISCHE ERWARTUNG 167 4.6.2 JUSTAGE VON
INTERFEROMETER UND REFERENZSPIEGEL 169 4.6.3 BEWERTUNG DER GAW- UND
UGAW-LNTERFEROGRAMME 169 4.6.3.1 BESSERE EMPFINDLICHKEIT DER
STREIFENABLESUNG 170 4.7 ZUSAMMENFASSUNG 173 4.8 LITERATUR UND ADRESSEN
FUER WEITERFUEHRENDE INFORMATIONEN 173 TEIL 5 - PLANUNG EINER
LUFTGELAGERTEN, HOCHTOURIGEN SPINDEL FUER OPTISCHE SCANNER 175 5.1
GENAUIGKEITSFORDERUNGEN 177 5.1.1 PLANFLAECHEN MIT SPEZIFIKATION WIE FUER
OPTIK 177 5.1.2 LAGERTYP 178 5.1.2.1 DIE STEIFE 178 5.2 FUNKTION DER
RADIALLAGERUNG 179 5.3 REIBLEISTUNG 181 5.4 DIE STROEMUNG DURCH DEN
ZYLINDERSPALT 182 5.5 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE 183 5.6 ZENTRALSCANNER,
AERODYNAMISCHE AUSFUEHRUNG 183 5.7 ZUSAMMENFASSUNG 184 5.8 LITERATUR UND
ADRESSEN FUER WEITERFUEHRENDE INFORMATIONEN 184 INHALTSVERZEICHNIS TEIL 6
- MIKROBEARBEITUNG - SPIEGELOBERFLAECHEN DURCH SPANENDE BEARBEITUNG 187
6.1 BEKANNTES OBJEKT ZYLINDERTROMMEL, SPEZIFIKATIONEN 191 6.1.1
PROCEDERE 191 6.1.2 ERSTER KONTAKT MIT DEM WERKZEUG AUS NATURDIAMANT 192
6.1.3 DIE LINEARFUEHRUNG 193 6.1.4 DER VORSCHUB 194 6.1.5 EINRICHTEN -
MESSEN 194 6.1.6 DIE PRODUKTION BEGINNT 195 6.2 DIE ZYLINDERFERTIGUNG
BEGLEITENDE MESSTECHNIK 198 6.2.1 MESSSONDEN 198 6.2.1.1 ABSOLUTER
DURCHMESSER 198 6.2.2 INTERFEROMETRISCH 198 6.2.3 IN-PROCESS-BEOBACHTUNG
DER DURCH DIE GEDREHTE GITTERSTRUKTUR BEWIRKTEN LICHTBEUGUNG 199 6.2.4
DIE KOSMETIK 201 6.3 SCHNELLPRUEFUNG DER WERKZEUGSCHNEIDE,
EINTAUCHSCHNITT 201 6.4 UNWUCHTUEBERWACHUNG 202 6.5 WERKZEUG-JUSTAGE -
RAUHEIT 202 6.5.1 ABSCHLUSS: MESSUNG DES DURCHMESSERS DER WALZEN -
ABSPANNEN, VERPACKEN 202 6.6 ANDERE ULTRAGENAUE WALZEN 203 6.6.1
MEGAWALZEN FUER DIE GRAFISCHE INDUSTRIE 203 6.6.2 ULTRAGENAUE WALZEN IM
ALLTAG 203 6.6.2.1 DUENNE FOLIEN 203 6.6.2.2 BRIEFUMSCHLAEGE MIT FENSTER
204 6.6.3 INNENZYLINDER - EIN ANSPRUCHSVOLLES WERKSTUECK 205 6.7 DAS
EINZAHN-DIAMANTWERKZEUG - WAS DER NUTZER VORAB WISSEN SOLLTE 206 6.7.1
SCHNITTKRAEFTE AM DIAMANTWERKZEUG 208 6.7.2 WERKZEUGRADIEN, NASENRADIUS
UND KANTEN-RUNDUNGSRADIUS 209 6.8 ZYLINDER AUS NICHT MIT EINKORNDIAMANT
ZERSPANBAREM MATERIAL 210 6.8.1 ZYLINDER-NORMALE 211 6.8.2 EINE
HERAUSFORDERUNG: ZYLINDER-NORMAL AUS ZERODUR 212 6.8.2.
INHALTSVERZEICHNIS 6.9 KONTINUIERLICHER SCHNITT MIT EINZAHN-DIAMANT,
VARIABLE SCHNITTGESCHWINDIGKEIT, DUKTILES METALL 217 6.9.1
DIAMANTGEDREHTE SPIEGELFLAECHEN ZUR INSPEKTION VON BEWEGUNGSFEHLERN 217
6.9.1.1 PLANUNG DER INTERFEROMETRISCHEN MESSUNG 217 6.9.1.2
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 218 6.9.1.3 WEITERE UNTERSUCHUNG DER KOMPONENTEN
EINER DREHVORRICHTUNG 220 6.9.1.4 ORTHOGONALITAET SCHLITTENACHSE (X) -
SPINDELACHSE (Z) 221 6.9.2 MOTORAUSWAHL 221 6.9.2.1 HISTORISCHES - GUT
ZU WISSEN 221 6.9.2.2 GLOCKENANKER, DISC DRIVES 222 6.9.2.3
KOLLEKTORLOSER, ELEKTRONISCH KOMMUTIERTER DC-SCHEIBEN-MOTOR 223 6.9.3
PLANUNG EINER ULTRAPRAEZISEN DREHMASCHINE FUER SUBSTRATPLATTEN - VERGLEICH
ZWEIER KONZEPTE 224 6.9.3.1 GEWOEHNLICHES MASCHINENKONZEPT 224 6.9.3.2
DUENNE SUBSTRATSCHEIBEN DREHEN - ODER: *SCHLECHTES DREHERGEBNIS AUF GUTER
SPINDEL 224 6.9.3.3 UNGEWOEHNLICHES MASCHINENKONZEPT 228 6.9.4 MIT DEM
DIAMANTWERKZEUG SCHNEIDEN - ODER DRUECKEN 228 6.10 MIKROBEARBEITUNG -
PLANFRAESEN MIT UNTERBROCHENEM SCHNITT 229 6.10.1 DREHVORRICHTUNG FRAEST
229 6.10.2 PLANFLAECHEN (SPIEGEL) FRAESEN 231 6.10.3 WAHL UND EINSTELLUNG
DES WERKZEUGES 231 6.10.3.1 DER EINTAUCHSCHNITT 232 6.10.4 WIE *GUT
MUSS EIN DIAMANTWERKZEUG SEIN? 234 6.10.5 EIGENE SPAENE BESCHAEDIGEN DIE
SPIEGELFLAECHE 237 6.10.6 OPTIMALE SCHNITTTIEFE 238 6.10.7 EINFACHE
ERMITTLUNG VON R A (ROOF EDGE TEST) 238 6.10. INHALTSVERZEICHNIS
6.12.3.4 PYRAMIDALWINKEL EINRICHTEN 257 6.12.4 POLYGONSPIEGEL - EHER
UNGEWOEHNLICHER BAUART 257 6.13 FEHLERBEWEGUNGEN UND SCHNITTPARAMETER MIT
INTERFEROMETER MESSEN 258 6.13.1 AUFBAU DER MASCHINE UND DES
INTERFEROMETERS ZUR IN-SITU-MESSUNG 258 6.13.2 STEIFE DES SCHLITTENS -
MIT DEM INTERFEROMETER MESSEN 260 6.13.3 STEIFE DER SPINDEL 260 6.13.4
DIE ROLLBEWEGUNG, AA = KIPPUNG UM X-ACHSE (= VORSCHUBACHSE) 261 6.13.5
DER PSEUDO-ROLLEFFEKT - EINFLUSS DER SCHNITTKRAFT 263 6.13.6 EINFLUSS
DER SPANTIEFE 264 6.13.7 STUETZUNG DER INTERFEROMETRISCHEN ANALYSE 264
6.13.8 VERIFIZIERUNG DER LINEARITAET EINER NEUEN FUEHRUNG - NEUEINRICHTEN
DES LINEARITAETS-NORMALS 265 6.13.9 SCHLITTENFEHLER ODER VORSCHUBFEHLER?
FEHLERSUCHE 265 6.13.10 LUSTAGE SPINDELACHSE (X) = SCHLITTENACHSE (X)
266 6.13.11 ZWEI SPINDELACHSEN ORTHOGONAL UND KOPLANAR 267 6.14 STABILE
LAGE, THERMISCHES WACHSTUM 267 6.14.1 DREH-FRAESEN: AUFGABEN UND LOESUNGEN
269 6.14.1.1 WERKZEUG AUFSETZEN - ABHEBEN 269 6.14.1.2 *^ -ANFORDERUNGEN
270 6.14.1.3 PRIMITIVE UND ROBUSTE Z-FEINSTZUSTELLUNG 270 6.14.1.4 DER
NANO-PUSHER 271 6.14.1.5 NANO-PUSHER BEIM DREHFRAESEN - NUETZLICHES
NEBENERGEBNIS - ERGAENZUNG ZU *ADL IN KEILTECHNIK 271 6.14.1.6 REPEATED
MACHINING 272 6.14.1.7 REFLEXIONSVERLUSTE - GERINGER DURCH REPEATED
MACHINING? 275 6.14.1.8 UEBER EIN *NOT TO DO 275 6.14.1.9
ZUSAMMENFASSUNG REPEATED MACHINING 276 6.15 VORSCHUBSYSTEME 277 6.15.
INHALTSVERZEICHNIS 6.16.2.1 KURZE RADIEN 289 6.16.2.2 LAENGERE RADIEN 289
6.16.2.3 INTERFEROMETER AUF DER MASCHINE 290 6.16.3 MASCHINENBAULICHE
TOLERANZEN IM *SPHAEREN-GENERATOR (SG) 291 6.16.3.1 SG -
MASCHINEN-INTEGRIERTES INTERFEROMETER MOEGLICH? 292 6.16.3.2
BEZUGSFLAECHEN AN SPHAERISCHEN BAUTEILEN 293 6.16.3.3 VOR DER FERTIGUNG
JUSTIEREN UND FIXIEREN 293 6.16.3.4 EINRICHTEN DER SPINDELN 293 6.17
ERZIELBARE OBERFLAECHEN 294 6.18 LITERATUR UND ADRESSEN FUER
WEITERFUEHRENDE INFORMATIONEN 294 TEIL 7 - MECHANISCH-OPTISCHE MESSUNGEN
MITTELS INTERFERENZ (INTERFEROMETER = STETHOSKOP DES PRECISION
ENGINEERS) 311 7.1 PLANFLAECHEN (PF), EIN DAUERBRENNER 315 7.1.1.
BEKANNTE METHODE NACH NEWTON UND FIZEAU - EINE BEWERTUNG DES STANDES DER
TECHNIK 315 7.1.2 OFT WIRD DER LICHTEINFALLSWINKEL ZUR PROBE
VERNACHLAESSIGT 319 7.1.3 ZUNEHMENDER ABSTAND ZWISCHEN REFERENZ UND PROBE
322 7.2 UEBERGANG VOM *LICHTHIMMEL ZU KOLLIMIERTER BELEUCHTUNG 324 7.2.1
TECHNISCHE BEDEUTUNG DER SCHRAEGEN BELEUCHTUNG 324 7.2.2
INTERFERENZKONTRAST 325 7.2.2.1 WAHL DER BESCHICHTUNG BESTIMMT
KONTRASTVERLAUF 326 7.3 DARSTELLUNG DER ZWEI- UND MEHRSTRAHLINTERFERENZ
IM VEKTORDIAGRAMM 327 7.3.1 DAS FIZEAU-MEHRSTRAHL-INTERFEROMETER 327
7.3.2 NUTZEN UND SCHADEN DER VIELSTRAHLINTERFERENZ 330 7.3.
INHALTSVERZEICHNIS 7.8 DIE PRUEFUNG VON 90-WINKELN 344 7.8.1 REVERSION
VON WELLENFLAECHEN 345 7.8.2 WINKELMESSUNG MITTELS *GERADER
INTERFERENZSTREIFEN 346 7.8.3 DOPPELTE EMPFINDLICHKEIT DER WINKELMESSUNG
BEI DACHKANTPRISMEN UND SPIEGELN 347 7.8.4 PLUS-ODER
MINUS-WINKELABWEICHUNG, HOCH ODER TIEF BEI FLAECHENFEHLERN? 347 7.8.5
EINFLUSS DER POLARISATION 349 7.9 FUNKTION DES RETROREFLEKTORS - DER
*WUERFELECKE 351 7.9.1 ILLUSTRATIVES CCR-PROJEKT AUS DER
MIKROBEARBEITUNG 353 7.9.1.1 CCR - OHNE IHN KEINE
LAENGENMESSUNG/KALIBRIERUNG DENKBAR 353 7.9.1.2 CCR - NOCH EINE
MESSTECHNISCH HILFREICHE EIGENSCHAFT 353 Z9.1.3 CCR IM ALLTAG 354 7.9.2
QUALITAETSSICHERUNG DER WUERFELECKE BZW. DES RETROREFLEKTORS (KURZ: CCR)
355 7.9.3 NOCH EINMAL ZUR KOLLIMATIONSPRUEFUNG 356 7.9.4 NOCH EINMAL ZUR
RETROREFLEXION - KUGELLINSEN 358 7.9.4.1 ANWENDUNGEN DES
KUGEL-RETROREFLEKTORS 359 7.9.5 KOLLIMATIONSPRUEFUNG ZUR SERIENKONTROLLE
DER GLEICHHEIT VON RADIEN 360 7.9.6 TRENNUNG DER WINKELFEHLER VON
FLAECHENFEHLERN 360 7.9.7 PARALLELITAET DER STIRNFLAECHEN VON TRANSPARENTEN
LASERKRISTALLSTAEBEN 361 79.8 KALIBRIERWUERFEL 364 7.10 POLYGONSPIEGEL 364
7.10.1 PYRAMIDALWINKEL BEI POLYGON-SPIEGELRAEDERN 366 7.11
INTERFEROMETRISCH KALIBRIERBARE WINKELNORMALE 367 7.11.1 0,1 BOG.SEK.
AUFLOESUNG IM BEREICH 15 368 7.12 ZENTRIERUNG VON MIKROLINSEN MITTELS
INTERFEROMETER 368 7.12.1 ZENTRIER-INTERFEROMETRIE 369 7.12.1.1
STEIGERUNG DER MESSEMPFINDLICHKEIT 370 7.12.1. INHALTSVERZEICHNIS 7.15
DAS EINARM-INTERFEROMETER 383 7.15.1 ENTFERNUNG DER TRAEGERFREQUENZ 385
7.16 EINE ENTARTETE FORM DES EINARM-INTERFEROMETERS, DAS
LLOYD-INTERFEROMETER 386 7.16.1 DAS LLOYD INTERFEROMETER HOEHERER ORDNUNG
388 7.16.2 MESSUNG VON MASCHINEN-FUEHRUNGSBAHNEN AUS GRANIT 390 7.16.3
*HOCH ODER TIEF? 391 7.17 FLAECHENINTERFEROMETRIE BEI REDUZIERTER
EMPFINDLICHKEIT DURCH SCHRAEGE BELEUCHTUNG. EINSATZMOEGLICHKEITEN,
FEHLERQUELLEN 392 7.17.1 DAS SCHEMA 392 7.17.2 FEHLERBETRACHTUNGEN -
UNGENAUIGKEITEN 392 7.17.3 (AP/P) MESSUNG - WIE GENAU? 396 7.17.3.1
INSTRUMENTELLE PRUEFANORDNUNGEN 397 7.17.4 OPTISCH PROBLEMARME LOESUNGEN
398 7.17.4.1 DAS ZEILEN-INTERFEROMETER 398 7.17.4.2 DAS SCATTER-FLATEST
400 7.18 FLAECHENINTERFEROMETRIE MIT GESTEIGERTER EMPFINDLICHKEIT DURCH
MEHRFACHREFLEXION 401 7.18.1 LOHNT SICH DAS VERFAHREN DIESER
*MULTIPASS-INTERFEROMETRIE? 402 7.18.2 ANWENDUNGEN DER
MULTIPASS-INTERFEROMETRIE 403 7.19 LITERATUR UND ADRESSEN FUER
WEITERFUEHRENDE INFORMATIONEN 405 TEIL 8 - GROSSFLAECHIGE
ULTRAPRAEZISIONSBEARBEITUNG 409 8.1 EINLEITUNG 411 8.2 DIAMANT ALS
WERKSTOFF FUER DIE BESTIMMTE SCHNEIDE 412 8.3 MASCHINENSYSTEME 414 8.4
GROSSSPIEGELFERTIGUNG 41 INHALTSVERZEICHNIS 9.2 DAS TRIROTA-VERFAHREN 427
9.2.1 DIE GRUNDLAGENDES BEARBEITUNGSPROZESSES 427 9.2.1.1 KONZEPTIONELLE
VERMEIDUNG SCHAEDLICHER EINFLUESSE 427 9.2.1.2 DIE BEWEGUNGEN DES
TRIROTA-VERFAHRENS 429 9.2.1.3 DIE REALISIERUNG DER TRIROTA-BEWEGUNGEN
430 9.2.1.4 DER ARBEITSABLAUF BEIM SCHLEIFEN EINES WERKSTUECKS 431 9.2.2
DIE REALISIERUNG DES VERFAHRENS MIT TRIROTA-MASCHINEN 431 9.2.2.1
DIETRIROTA-LABORMASCHINE 431 9.2.2.2 DIE TRIROTA-FERTIGUNGSMASCHINEN BIS
100 MM DURCHMESSER 432 9.2.2.3 TRIROTA-MASCHINEN FUER GROSSE WERKSTUECKE
432 9.2.2.4 TECHNISCHE DATEN VON TRIROTA-MASCHINEN 433 9.3
BESONDERHEITEN BEI DER REALISIERUNG DES TRIROTA-VERFAHRENS 433 9.3.1
PRAEZISIONSFORDERUNGEN IN DER ZUORDNUNG DER MASCHINENKOMPONENTEN 433
9.3.2 UMSETZUNG DER PRAEZISIONSFORDERUNGEN 434 9.3.2.1 PRAEZISION DER
BEARBEITUNGSBEWEGUNGEN 434 9.3.2.2 DIE STEUERUNG 435 9.3.2.3 DIE
JUSTIERUNGSANFORDERUNGEN 436 9.3.2.4 DIE TRIROTA-JUSTIERMETHODE 437
9.3.2.5 PRAEZISIONSKOMPONENTEN 439 9.3.2.6 PRAEZISIONSEIGENSCHAFTEN DER
MASCHINENKOMPONENTEN 440 9.4 ERGEBNISSE 440 9.5 ZUSAMMENFASSUNG 441 9.6
LITERATUR 442 TEIL 10 - PIEZOELEKTRISCHE FEINSTANTRIEBE IM
UP-MASCHINENBAU UND DEREN STEUERUNG 445 10.1 PIEZOELEKTRISCHE MOTOREN 44
INHALTSVERZEICHNIS 10.4 SPEZIELLE ASPEKTE BEIM EINSATZ DER PIEZOMOTOREN
AN LUFTGELAGERTEN ACHSEN 454 10.4.1 ANWENDUNGEN AN LUFTGELAGERTEN
ROTATIONSACHSEN 455 10.4.2 ANWENDUNGEN AN LUFTGELAGERTEN LINEARACHSEN
456 10.5 LITERATUR 458 TEIL 11 - VERSCHLEISS VON EINKRISTALLINEN
DIAMANTWERKZEUGEN 459 11.1 VERSCHLEISS-PRINZIPIEN 461 11.2 EINIGE
VERSCHLEISSRELEVANTE EIGENSCHAFTEN VON DIAMANT 461 11.3
WERKSTOFFERZEUGTER VERSCHLEISS 462 11.3.1 GUT BEARBEITBARE WERKSTOFFE 462
11.3.2 MAESSIG GUT BEARBEITBARE WERKSTOFFE 463 11.3.3 NOCH BEARBEITBARE
WERKSTOFFE 463 11.3.4 NICHT (MIT VERTRETBAREM AUFWAND) BEARBEITBARE
WERKSTOFFE 464 11.4 FORMEN VON VERSCHLEISS 464 11.4.1 SCHNEIDENVERSCHLEISS
464 11.4.2 KOLKVERSCHLEISS 464 11.4.3 SPANFLAECHENVERSCHLEISS 464 11.4.4
TRIBO-ELEKTRISCHER VERSCHLEISS 464 11.4.5 ERMUEDUNG 465 11.4.6 BRUCH 465
11.5 URSACHEN, DEUTUNG UND BEEINFLUSSUNG VON VERSCHLEISS 466 11.5.1
ADHAESION 466 11.5.2 MIKRO-UND MAKRO-CHIPPING 466 11.5.3 NANO-CHIPPING
UND ERMUEDUNG 466 11.5.4 TRIBO-THERMIK 467 11.5.5 TRIBO-CHEMIE 467 11.5.6
TRIBO-ELEKTRIK 467 11.6 MESSUNG UND PRUEFUNG VON DIAMANTWERKZEUGEN AUF
VERSCHLEISS UND DEFEKTE 467 11.6.1 MIKROSKOPE 467 11.6.2 REM, STM 468
11.6.3 OPTISCHE SCHNEIDKANTENSCHAERFE-MESSUNG 468 11.6.4 OPTISCHE
POLITURBEURTEILUNG 469 11.6.5 PROBESCHNITT 469 11.7 LITERATUR 470
SACHREGISTER 471 XXI
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