Metrologische Qualifizierung von Koordinatenmessgeräten für mikromechanische Bauteile:
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| Veröffentlicht: |
Aachen
Apprimus-Verl.
2009
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS FORMETZEICHEN V ABKUERZUNGEN VII 1 EINFUEHRUNG 1 2
STAND DER TECHNIK UND FORSCHUNG 5 2.1 KOORDINATENMESSTECHNIK FUER
MIKROMECHANISCHE BAUTEILE 6 2.1.1 POSITIONIEREINHEITEN FUER MIKROKMG 8
2.1.2 TAKTILE SENSOREN FUER MIKRO-KMG 12 3 PROBLEMSTELLUNG UND
ZIELSETZUNG 19 4 NUMERISCHE KORREKTURVERFAHREN FUER MIKRO-KMG 21 4.1
KORREKTUR DER FUEHRUNGSABWEICHUNGEN 25 4.1.1 MATHEMATISCHE MODELLIERUNG
25 4.1.2 ERFASSUNG DER FUEHRUNGSABWEICHUNGEN 34 4.2 KORREKTUR THERMISCH
BEDINGTER ABWEICHUNGEN 46 4.2.1 LINEARES THERMOMECHANISCHES MODELL 46
4.2.2 ERMITTLUNG UND OPTIMIERUNG DER MODELLKONSTANTEN 48 4.3
BERUECKSICHTIGUNG DER SENSOREIGENSCHAFTEN 51 4.3.1 TAKTILER SENSOR 51
4.3.2 BILDVERARBEITUNGSSENSOR 60 4.4 FAZIT 66 5
GENAUIGKEITSPRUEFVERFAHREN FUER MIKRO-KMG 69 5.1 ANWENDBARKEIT AKTUELLER
REGELWERKE 70 5.1.1 TAKTILE ANTASTABWEICHUNG 71 5.1.2 OPTISCHE
ANTASTABWEICHUNG 73 5.1.3 LAENGENMESSABWEICHUNG 77 5.1.4 ZWISCHENFAZIT 86
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/995864292 DIGITALISIERT
DURCH LEBENSLAUF 141 INHALTSVERZEICHNIS 5.2 ENTWICKLUNG EINES
ZWEIDIMENSIONALEN PRUEFKOERPERS 88 5.2.1 AUSLEGUNG 88 5.2.2 UMSETZUNG 92
5.2.3 KALIBRIERUNG 95 5.2.4 ERPROBUNG 100 5.3 VORGEHENSWEISE ZUR
GENAUIGKEITSPRUEFUNG VON MIKRO-KMG 107 5.4 FAZIT 110 6 EXPERIMENTELLE
VALIDIERUNG 113 6.1 TAKTILE ANTASTABWEICHUNG 114 6.2 OPTISCHE
ANTASTABWEICHUNG 115 6.3 LAENGENMESSABWEICHUNG 116 6.4 FAZIT 123 7
ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 125 LITERATURVERZEICHNIS 127 A
MESSUNSICHERHEITSABSCHAETZUNG FUER DIE KALIBRIERUNG DER HALBKUGELPLATTEN
133
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| topic | Mikrosystemtechnik - Koordinatenmessgerät - Messfehler - Korrektur Mikrosystemtechnik - Koordinatenmessgerät - Taktiler Sensor - Bildsensor - Positionierung - Kalibrieren <Messtechnik> Korrektur (DE-588)4205358-4 gnd Positionierung (DE-588)4140478-6 gnd Kalibrieren Messtechnik (DE-588)4198763-9 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Messfehler (DE-588)4133270-2 gnd Koordinatenmessgerät (DE-588)4192228-1 gnd Taktiler Sensor (DE-588)4184370-8 gnd Bildsensor (DE-588)4495594-7 gnd |
| topic_facet | Mikrosystemtechnik - Koordinatenmessgerät - Messfehler - Korrektur Mikrosystemtechnik - Koordinatenmessgerät - Taktiler Sensor - Bildsensor - Positionierung - Kalibrieren <Messtechnik> Korrektur Positionierung Kalibrieren Messtechnik Mikrosystemtechnik Messfehler Koordinatenmessgerät Taktiler Sensor Bildsensor Hochschulschrift |
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