Papers from the AVS 55th International Symposium and Exhibition: 19 - 24 October 2008, Boston, Massachusetts
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: American Vacuum Society (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York American Inst. of Physics 2009
Schriftenreihe:Journal of vacuum science & technology : A 27,4
Schlagworte:
Beschreibung:Einzelaufnahme eines Zeitschr.-Heftes
Beschreibung:S. 736 - 1106 Ill., graph. Darst.

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