Effiziente und kostenoptimale Herstellung von Mikrostrukturen durch eine Verfahrenskombination von Bahnerosion und Laserablation:
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2009
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Schriftenreihe: | Forschungsberichte aus dem wbk, Institut für Produktionstechnik, Universität Karlsruhe (TH)
147 |
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adam_text | INHALTSVERZEICHNIS I INHALTSVERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS I ABKUERZUNGEN
IV FORMELZEICHEN V 1 EINLEITUNG UND MOTIVATION 1 1.1 MIKROTECHNIK 1 1.2
FUNKENEROSION UND LASERABLATION 2 1.3 AUFBAU DIESER ARBEIT 4 2 STAND DER
TECHNIK 5 2.1 LASERABLATION 6 2.1.1 LASERTYPEN 6 2.1.2 FOKUSSIERUNG UND
AUSBREITUNG VON LASERSTRAHLEN 7 2.1.3 ABTRAGSMECHANISMUS 12 2.1.4
LASERBOHREN,-SCHNEIDEN UND-BESCHRIFTEN 15 2.1.5 LASERSTRUKTURIEREN 16
2.2 FUNKENEROSION 19 2.2.1 ABTRAGSMECHANISMUS 19 2.2.2 SENKEROSION 22
2.2.3 DRAHTEROSION 25 2.2.4 BAHNEROSION 26 2.3 ABTRAGENDE
VERFAHRENSKOMBINATIONEN 28 2.4 ZUSAMMENFASSUNG DES STANDS DER TECHNIK
UND DEFIZITBEWERTUNG BISHERIGER ARBEITEN 29 2.4.1 LASERABLATION 30 2.4.2
FUNKENEROSION 31 2.4.3 VERFAHRENSKOMBINATIONEN 32 3 ZIELSETZUNG UND
VORGEHENSWEISE 33 3.1 ZIELSETZUNG 33 3.2 VORGEHENSWEISE 33 4
PROZESSMODELL LASERABLATION 36 4.1 VERSUCHSEINRICHTUNGEN 36 4.1.1
WERKZEUGMASCHINE 36 BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/993092853 DIGITALISIERT DURCH II INHALTSVERZEICHNIS
4.1.2 WERKSTUECKCHARAKTERISIERUNG 39 4.1.3 VERSUCHSWERKSTOFFE 41 4.2
PROZESSANALYSE 41 4.3 THERMISCHE EINFLUESSE AUF DIE MASSHALTIGKEIT 42 4.4
VERFAHRGESCHWINDIGKEIT 44 4.5 FOKUSLAGE 46 4.5.1 AUSWAHL DES GEEIGNETEN
SENSORS 47 4.5.2 EINBINDUNG DES SENSORS IN DIE STEUERUNG DER MASCHINE 51
4.5.3 PROZESSPARALLELE OFFLINE-REGELUNG 52 4.5.4 PROZESSPARALLELE
ONLINE-REGELUNG 56 4.6 EINSTRAHLWINKEL 64 4.6.1 ABHAENGIGKEIT DER
WANDWINKEL VON PROZESSPARAMETERN 66 4.6.2 BESTIMMUNG DER LAGE DER
DREHACHSEN 69 4.6.3 BERECHNUNG DER POSITIONSAENDERUNG BEI ROTATION DER
GONIOMETERACHSEN 70 4.6.4 WANDWINKELAUSGLEICH DURCH DEN EINSATZ DER
GONIOMETERACHSEN 71 4.7 PULS- UND BAHNUEBERDECKUNG 74 4.8 PULSENERGIE 75
4.8.1 BEARBEITUNGSDURCHMESSER 75 4.8.2 EINFLUSS DER PULSENERGIE AUF DIE
OBERFLAECHENQUALITAET 79 4.8.3 EINFLUSS DER PULSENERGIE AUF DIE
ABTRAGSRATE 81 4.9 ABSCHLIESSENDE BETRACHTUNG ZUM PROZESSMODELL
LASERABLATION 83 5 PROZESSMODELL BAHNEROSION 84 5.1
VERSUCHSEINRICHTUNGEN 84 5.1.1 WERKZEUGMASCHINE 84 5.1.2
WERKSTUECKCHARAKTERISIERUNG 85 5.2 PROZESSANALYSE 86 5.3 ZUSTELLTIEFE UND
VERSTAERKUNGSFAKTOR 87 5.3.1 EINFLUSS VON ZUSTELLTIEFE UND
VERSTAERKUNGSFAKTOR AUF DIE BEARBEITUNGSGESCHWINDIGKEIT 88 5.3.2 EINFLUSS
VON ZUSTELLTIEFE UND VERSTAERKUNGSFAKTOR AUF DEN ELEKTRODENVERSCHLEISS 90
5.3.3 EINFLUSS VON ZUSTELLTIEFE UND VERSTAERKUNGSFAKTOR AUF DIE
OBERFLAECHENQUALITAET 90 5. INHALTSVERZEICHNIS III 5.4.2 EINFLUSS VON
ELEKTRODENDURCHMESSER UND PULSFORM AUF DIE OBERFLAECHENQUALITAET 92 5.4.3
EINFLUSS VON ELEKTRODENDURCHMESSER UND PULSFORM AUF DEN
ELEKTRODENVERSCHLEISS 93 5.4.4 EINFLUSS VON ELEKTRODENDURCHMESSER UND
PULSFORM AUF DEN LATERALEN SPALT 93 5.5 ABSCHLIESSENDE BETRACHTUNG ZUM
PROZESSMODELL EDM 95 6 KOMBINATION BAHNEROSION UND LASERABLATION 96 6.1
KONSTRUKTION DER NEUEN MASCHINE 98 6.1.1 MECHANISCHER AUFBAU 98 6.1.2
OPTISCHER AUFBAU 102 6.1.3 BERECHNUNG DES MASCHINENSTUNDENSATZES 105 6.2
PLANUNGSSTRATEGIEN FUER DIE KOMBINIERTE BEARBEITUNG 107 6.2.1
PROZESSKOSTEN 107 6.2.2 OPTIMIERUNGSALGORITHMUS FUER EINE KOSTENOPTIMALE
BEARBEITUNG 110 6.3 VERIFIKATION AN EINER TESTGEOMETRIE 117 6.4
ABSCHLIESSENDE BETRACHTUNG DER VERFAHRENSKOMBINATION BAHNEROSION UND
LASERABLATION 120 7 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 121 7.1 ZUSAMMENFASSUNG
121 7.2 AUSBLICK 123 LITERATURVERZEICHNIS I ANHANG XII
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