Elektrische Werkstückantastung für Nanometer aufgelöste Oberflächen- und Koordinatenmesstechnik:
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| adam_text | 4.2 KONZEPTION DES VERSUCHSAUFBAUS 52 INHALTSVERZEICHNIS I
INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 WERKSTUECKANTASTUNG FUER NANOMETER
AUFGELOESTE OBERFLAECHEN- UND KOORDINATENMESSTECHNIK - STAND DER TECHNIK 3
2.1 2,5D OBERFLAECHENMESSTECHNIK MIT 1D TASTSYSTEMEN 4 2.1.1 ANWENDUNG
VON 1 D-TASTSYSTEMEN FUER 2,5D-TOPOGRAPHIEMESSUNGEN IM MIKRO- UND
NANOBEREICH 5 2.1.2 BEISPIELE FUER 2,5 D TOPOGRAPHIEMESSSYSTEME 10 2.2 3D
MIKRO-KOORDINATENMESSTECHNIK MIT 3D TASTSYSTEMEN 17 2.2.1 VIBRO-TAKTILE
ANTASTUNG 19 2.2.2 TAKTILE ANTASTUNG 20 2.3 DEFIZITE DER BESCHRIEBENEN
SYSTEME 26 3 ZIELSETZUNG UND WISSENSCHAFTLICHER ANSATZ 28 3.1
ANFORDERUNGEN AN EIN UNIVERSELLES TASTSYSTEM FUER DIE DIMENSIONELLE
MIKRO- UND NANOMESSTECHNIK 29 3.1.1 ALLGEMEINE ANFORDERUNGEN AN
TASTSYSTEME 30 3.1.2 SPEZIFISCHE ANFORDERUNGEN DER MIKRO- UND
NANOMESSTECHNIK 31 3.2 AUSWAHL EINER ELEKTRISCHEN ANTASTWECHSELWIRKUNG
ZUR EINGEHENDEN UNTERSUCHUNG 33 4 ENTWICKLUNG EINES TASTSYSTEMS MIT
ELEKTRISCHER WECHSELWIRKUNG ZUR WERKSTUECKANTASTUNG 35 4.1 ELEKTRISCHE
WECHSELWIRKUNGEN MIT GLEICHSTROM 35 4.1.1 ELEKTRISCHER UND MECHANISCHER
KONTAKT 36 4.1.2 LONENLEITUNG IN LUFT 41 4.1.3 DIELEKTRISCHER
DURCHSCHLAG 42 4.1.4 FELDEMISSION, TUNNELEFFEKT UND SCHOTTKY-EFFEKT 44
4.1.5 SCHLUSSFOLGERUNGEN FUER DIE KONZEPTION DES VERSUCHSAUFBAUS 51
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/994782349 DIGITALISIERT
DURCH II INHALTSVERZEICHNIS 4.3 SENSORELEKTRONIK 54 4.3.1
SONDENSPANNUNGSQUELLE 55 4.3.2 WANDLER- UND VERSTAERKEREINHEIT 56 4.3.3
SCHIRMUNG VON ELEKTROMAGNETISCHEN STOERUNGEN 57 4.3.4 TEST DER SCHALTUNG
58 4.4 SONDENHALTERUNG UND SONDEN 59 4.5 NANO-POSITIONIEREINHEIT SIOS
NMM-1 61 4.6 KAMERA UND OSZILLOSKOP 64 4.7 SOFTWARE 64 5 UNTERSUCHUNG
DER MESSTECHNISCHEN EIGENSCHAFTEN 66 5.1 UNTERSUCHUNG DER KENNLINIE DES
TASTSYSTEMS 66 5.1.1 VORGEHENSWEISE 67 5.1.2 MESSERGEBNISSE 68 5.1.3
LANGZEITSTABILITAET 72 5.2 2,5D OBERFLAECHENMESSTECHNIK 73 5.2.1
STUFENHOEHENMESSUNGEN 73 5.2.2 TOPOGRAPHIEMESSUNGEN 77 5.3 3 D
KOORDINATENMESSTECHNIK 81 5.3.1 TASTELEMENTE FUER ISOTROPE ANTASTUNG 81
5.3.2 MINIATUR-KUGELSTAB 87 5.3.3 3D ANTASTABWEICHUNG IN ANLEHNUNG AN
ISO 10360-2 88 5.3.4 LAENGENMESSABWEICHUNG UND REPRODUZIERBARKEIT 91
5.3.5 ANWENDUNG VON TASTERBAEUMEN 97 5.4 UNTERSUCHUNG UND BEWERTUNG DER
INVASIVITAET 103 5.5 BEWERTUNG DER MESSTECHNISCHEN EIGENSCHAFTEN 105 6
ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 109 7 ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 110 8 LITERATUR
111
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