Holdings: Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie

Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie:

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Bibliographic Details
Main Author:	Häberlen, Maik 1975- (Author)
Format:	Thesis Book
Language:	German
Published:	2006
Subjects:	Siliciumcarbid Heteroepitaxie Ionenimplantation Homoepitaxie Epitaxieschicht Hochschulschrift
Online Access:	Volltext http://d-nb.info/990100804/34 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:384-opus-9962
Physical Description:	IV, 210 S. Ill., graph. Darst.

Staff View

MARC


LEADER	00000nam a2200000 c 4500
001	BV035395375
003	DE-604
005	20170405
007	t
008	090326s2006 gw ad\|\| m\|\|\| 00\|\|\| ger d
015			\|a 08,H11,1104 \|2 dnb
016	7		\|a 990100804 \|2 DE-101
035			\|a (OCoLC)644058536
035			\|a (DE-599)DNB990100804
040			\|a DE-604 \|b ger \|e rakddb
041	0		\|a ger
044			\|a gw \|c XA-DE
049			\|a DE-384 \|a DE-473 \|a DE-703 \|a DE-1051 \|a DE-824 \|a DE-29 \|a DE-12 \|a DE-91 \|a DE-19 \|a DE-1049 \|a DE-92 \|a DE-739 \|a DE-898 \|a DE-355 \|a DE-706 \|a DE-20 \|a DE-1102
082	0		\|a 530.4175 \|2 22/ger
082	1		\|a 530.4175 \|2 22//ger
084			\|a UP 3100 \|0 (DE-625)146372: \|2 rvk
084			\|a 530 \|2 sdnb
100	1		\|a Häberlen, Maik \|d 1975- \|e Verfasser \|0 (DE-588)136102735 \|4 aut
245	1	0	\|a Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie \|c vorgelegt von Maik Häberlen
264		1	\|c 2006
300			\|a IV, 210 S. \|b Ill., graph. Darst.
336			\|b txt \|2 rdacontent
337			\|b n \|2 rdamedia
338			\|b nc \|2 rdacarrier
502			\|a Augsburg, Univ., Diss., 2007
650	0	7	\|a Siliciumcarbid \|0 (DE-588)4055009-6 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Heteroepitaxie \|0 (DE-588)4260178-2 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Ionenimplantation \|0 (DE-588)4027606-5 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Homoepitaxie \|0 (DE-588)4457865-9 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Epitaxieschicht \|0 (DE-588)4152546-2 \|2 gnd \|9 rswk-swf
655		7	\|0 (DE-588)4113937-9 \|a Hochschulschrift \|2 gnd-content
689	0	0	\|a Siliciumcarbid \|0 (DE-588)4055009-6 \|D s
689	0	1	\|a Epitaxieschicht \|0 (DE-588)4152546-2 \|D s
689	0	2	\|a Ionenimplantation \|0 (DE-588)4027606-5 \|D s
689	0		\|5 DE-604
689	1	0	\|a Siliciumcarbid \|0 (DE-588)4055009-6 \|D s
689	1	1	\|a Heteroepitaxie \|0 (DE-588)4260178-2 \|D s
689	1	2	\|a Ionenimplantation \|0 (DE-588)4027606-5 \|D s
689	1		\|5 DE-604
689	2	0	\|a Siliciumcarbid \|0 (DE-588)4055009-6 \|D s
689	2	1	\|a Homoepitaxie \|0 (DE-588)4457865-9 \|D s
689	2	2	\|a Ionenimplantation \|0 (DE-588)4027606-5 \|D s
689	2		\|5 DE-604
776	0	8	\|i Erscheint auch als \|n Online-Ausgabe \|o urn:nbn:de:bvb:384-opus-9962
856	4	1	\|u http://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/1167 \|x Verlag \|z kostenfrei \|3 Volltext
856	4		\|u http://d-nb.info/990100804/34 \|x Langzeitarchivierung Nationalbibliothek
856	4		\|u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:384-opus-9962 \|x Resolving-System
912			\|a ebook
999			\|a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017316108

Record in the Search Index

_version_	1804138820297293824
any_adam_object
author	Häberlen, Maik 1975-
author_GND	(DE-588)136102735
author_facet	Häberlen, Maik 1975-
author_role	aut
author_sort	Häberlen, Maik 1975-
author_variant	m h mh
building	Verbundindex
bvnumber	BV035395375
classification_rvk	UP 3100
collection	ebook
ctrlnum	(OCoLC)644058536 (DE-599)DNB990100804
dewey-full	530.4175
dewey-hundreds	500 - Natural sciences and mathematics
dewey-ones	530 - Physics
dewey-raw	530.4175
dewey-search	530.4175
dewey-sort	3530.4175
dewey-tens	530 - Physics
discipline	Physik
format	Thesis Book
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02513nam a2200613 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV035395375</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20170405 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">090326s2006 gw ad\|\| m\|\|\| 00\|\|\| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">08,H11,1104</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">990100804</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)644058536</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB990100804</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-384</subfield><subfield code="a">DE-473</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-1051</subfield><subfield code="a">DE-824</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-19</subfield><subfield code="a">DE-1049</subfield><subfield code="a">DE-92</subfield><subfield code="a">DE-739</subfield><subfield code="a">DE-898</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-1102</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">530.4175</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">530.4175</subfield><subfield code="2">22//ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3100</subfield><subfield code="0">(DE-625)146372:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">530</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Häberlen, Maik</subfield><subfield code="d">1975-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)136102735</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Maik Häberlen</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2006</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 210 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Augsburg, Univ., Diss., 2007</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Heteroepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260178-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Homoepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4457865-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Epitaxieschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152546-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Epitaxieschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4152546-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Heteroepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4260178-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumcarbid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055009-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Homoepitaxie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4457865-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="2"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Online-Ausgabe</subfield><subfield code="o">urn:nbn:de:bvb:384-opus-9962</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">http://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/1167</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="u">http://d-nb.info/990100804/34</subfield><subfield code="x">Langzeitarchivierung Nationalbibliothek</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2=" "><subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:384-opus-9962</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017316108</subfield></datafield></record></collection>
genre	(DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content
genre_facet	Hochschulschrift
id	DE-604.BV035395375
illustrated	Illustrated
indexdate	2024-07-09T21:34:16Z
institution	BVB
language	German
oai_aleph_id	oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017316108
oclc_num	644058536
open_access_boolean	1
owner	DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102
owner_facet	DE-384 DE-473 DE-BY-UBG DE-703 DE-1051 DE-824 DE-29 DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-19 DE-BY-UBM DE-1049 DE-92 DE-739 DE-898 DE-BY-UBR DE-355 DE-BY-UBR DE-706 DE-20 DE-1102
physical	IV, 210 S. Ill., graph. Darst.
psigel	ebook
publishDate	2006
publishDateSearch	2006
publishDateSort	2006
record_format	marc
spelling	Häberlen, Maik 1975- Verfasser (DE-588)136102735 aut Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie vorgelegt von Maik Häberlen 2006 IV, 210 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Augsburg, Univ., Diss., 2007 Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd rswk-swf Heteroepitaxie (DE-588)4260178-2 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Homoepitaxie (DE-588)4457865-9 gnd rswk-swf Epitaxieschicht (DE-588)4152546-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 s Epitaxieschicht (DE-588)4152546-2 s Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s DE-604 Heteroepitaxie (DE-588)4260178-2 s Homoepitaxie (DE-588)4457865-9 s Erscheint auch als Online-Ausgabe urn:nbn:de:bvb:384-opus-9962 http://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/1167 Verlag kostenfrei Volltext http://d-nb.info/990100804/34 Langzeitarchivierung Nationalbibliothek https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:384-opus-9962 Resolving-System
spellingShingle	Häberlen, Maik 1975- Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd Heteroepitaxie (DE-588)4260178-2 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Homoepitaxie (DE-588)4457865-9 gnd Epitaxieschicht (DE-588)4152546-2 gnd
subject_GND	(DE-588)4055009-6 (DE-588)4260178-2 (DE-588)4027606-5 (DE-588)4457865-9 (DE-588)4152546-2 (DE-588)4113937-9
title	Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie
title_auth	Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie
title_exact_search	Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie
title_full	Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie vorgelegt von Maik Häberlen
title_fullStr	Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie vorgelegt von Maik Häberlen
title_full_unstemmed	Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie vorgelegt von Maik Häberlen
title_short	Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie
title_sort	ionenstrahlsynthese und charakterisierung großflachiger 3c sic pseudosubstrate fur die homo und heteroepitaxie
topic	Siliciumcarbid (DE-588)4055009-6 gnd Heteroepitaxie (DE-588)4260178-2 gnd Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd Homoepitaxie (DE-588)4457865-9 gnd Epitaxieschicht (DE-588)4152546-2 gnd
topic_facet	Siliciumcarbid Heteroepitaxie Ionenimplantation Homoepitaxie Epitaxieschicht Hochschulschrift
url	http://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/1167 http://d-nb.info/990100804/34 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:384-opus-9962
work_keys_str_mv	AT haberlenmaik ionenstrahlsyntheseundcharakterisierunggroßflachiger3csicpseudosubstratefurdiehomoundheteroepitaxie

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