Hochempfindliche resonante Gassensoren auf der Basis von einkristallinen Silizium-Plattenschwingern:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Dr. Hut Verlag
2008
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Ingenieurwissenschaften
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 171 S. 210 mm x 148 mm, 229 gr. |
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| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS FORMEL UND ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 7 VORWORT 15 1
EINLEITUNG 17 1.1 GASSENSORIK 17 1.2 ZIELSETZUNG 20 1.3 ERLAEUTERUNG ZU
DEN KAPITELINHALTEN 20 2 GRUNDLAGEN DER GRAVIMETRISCHEN GASSENSORIK 23
2.1 MASSENSENSITIVE DETEKTION MIT ORGANISCHEN SCHICHTEN 23 2.1.1 DICHTE-
BZW. MASSENAENDERUNG DER SCHICHT 24 2.1.2 DER VERTEILUNGSKOEFFIZIENT 26
2.1.3 ELASTISCHE UND VISKOELASTISCHE SCHICHTEIGENSCHAFT EN 29 2.2
AKUSTISCHE RESONATOREN FUER DIE GASANALYTIK 34 2.2.1 QCM 35 2.2.2 SAW 39
2.2.3 BALKENSCHWINGER 44 2.2.4 FPWUNDFBAR 48 2.3 ELEKTRISCHES
ERSATZSCHALTBILD 51 2.3.1 BESTIMMUNG DER ELEKTRISCHEN GROESSEN 51 2.3.2
DIE AUSWIRKUNG DER IMPEDANZEN Z X ,Z O UND Z L AUF DIE UEBERTRA-
GUNGSFUNKTION 53 2.3.3 HERLEITUNG DER SERIENRESONANZKURVE AUS DER
GEMESSENEN UEBERTRA- GUNGSFUNKTION 57 2.4 RAUSCHEN UND DAEMPFUNG
MIKROMECHANISCHER RESONATOREN 59 2.5 EMPFINDLICHKEITSSTEIGERNDE
VERFAHREN 65 BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/992162815
DIGITALISIERT DURCH INHALTSVERZEICHNIS 3 NEUER GASSENSOR AUF BASIS
QUADRATISCHER PLATTENSCHWINGER 69 3.1 LATERAL ANGEREGTE PLATTENSCHWINGER
69 3.2 PRINZIPAUFBAU DES NEUEN SENSORS 73 4 MODELTERSTELLUNG 75 4.1
GRUNDLAGEN DER SENSORIDEALISIERUNG 76 4.2 MODALE MASSE UND
FEDERKONSTANTE 79 4.3 MASSENSENSITIVITAET DES UNGEDAEMPFTEN SENSORS 86 4.4
BERECHNUNG DER LUFTDAEMPFUNG MITTELS TEMPERATURFELDANALOGIE 89 4.5
SENSORGUETE UND MASSENEMPFINDLICHKEIT BEI POLYMER- UND LUFTDAEMPFUNG . .
95 5 ERGEBNISSE UND AUSWERTUNG VON DREI PLATTENRESONATORDESIGNS 101 5.1
ABSCHAETZUNG DER NACHWEISGRENZE 101 5.2 ELEKTRISCHES ERSATZSCHALTBILD DER
PLATTENRESONATOREN 109 5.3 VERGLEICH DER GRAVIMETRISCHEN SENSOREN 112 6
HERSTELLUNG DER PROTOTYPEN 115 6.1 HERSTELLUNGSMETHODEN NACH ANDEREN
AUTOREN 115 6.2 PROZESSFOLGE FUER DIE PROTOTYPEN 119 6.3 WICHTIGE ASPEKTE
DES MASKENDESIGNS UND DER TECHNOLOGIE 125 7 ANALYSE DES ERSTEN
HERSTELLUNGSPROZESSES 133 7.1 MESSPLATZ UND AETZZEITBESTIMMUNG 133 7.2
FEHLERANALYSE UND LOSUNGSWEG FUER FUNKTIONSFAEHIGE RESONATOREN 137 7.3
TECHNOLOGISCHE OPTIMIERUNGSANSAETZE 144 8 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK
149 LITERATURVERZEICHNIS 151 ABBILDUNGSVERZEICHNIS 161
TABELLENVERZEICHNIS 165 SELBSTSTAENDIGKEITSERKLAERUNG 167 THESEN 1W
LEBENSLAUF I N
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