Grundlagenuntersuchungen zum elektrisch induzierten Phasenwechsel und Entwicklung lateraler Phasenwechselspeicherbauelemente:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2008
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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| Beschreibung: | II, 135 S. Ill., graph. Darst. |
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| adam_text | GRUNDLAGENUNTERSUCHUNGEN ZUM ELEKTRISCH INDUZIERTEN PHASENWECHSEL UND
ENTWICKLUNG LATERALER PHASENWECHSELSPEICHERBAUELEMENTE VON DER FAKULTAET
FUER ELEKTROTECHNIK UND INFORMATIONSTECHNIK DER RHEINISCH-WESTFAELISCHEN
TECHNISCHEN HOCHSCHULE AACHEN ZUR ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN GRADES
EINES DOKTORS DER INGENIEURWISSENSCHAFTEN GENEHMIGTE DISSERTATION
VORGELEGT VON DIPLOM-INGENIEUR FLORIAN MERGET AUS BOCHUM BERICHTER:
UNIVERSITAETSPROFESSOR DR. PHIL. (UNIV. WIEN) HEINRICH KURZ
UNIVERSITAETSPROFESSOR DR. ING. ANDREI VESCAN TAG DER MUENDLICHEN PRUEFUNG:
20.06.2008 INHALTSVERZEICHNIS 1. EINLEITUNG 1 2. GRUNDLAGEN 5 2.1. DIE
GRUPPE DER CHALKOGENIDEN PHASENWECHSELMATERIALIEN 5 2.2.
KRISTALLOGRAPHISCHE EIGENSCHAFTEN CHALKOGENIDER MATERIALIEN 5 2.2.1. DIE
KRISTALLINE /CC-PHASE 6 2.2.2. DIE KRISTALLINE HEXAGONALE PHASE 7 2.2.3.
DIE AMORPHE PHASE 8 2.3. ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN CHALKOGENIDER
MATERIALIEN 9 2.3.1. LADUNGSTRAEGERTRANSPORT IN DER KRISTALLINEN PHASE 10
2.3.2. LADUNGSTRAEGERTRANSPORTMODELLE DER AMORPHEN PHASE 10 2.3.3.
FELDINDUZIERTER PHASENWECHSEL - SCHWELLENSCHALTEN 12 2.4.
KRISTALLISATIONSKINETIK CHALKOGENIDER MATERIALIEN - 15 2.5.
PERKOLATIONSEFFEKTE IN PHASENWECHSELMATERIALIEN 21 2.5.1. DER ISOTROPE
PERKOLATIONSEFFEKT 22 2.6. SPEICHERCHARAKTERISTIK ELEKTRISCHER
PHASENWECHSELSPEICHER 24 2.7. ZELLENDESIGN KONZEPTE 26 2.7.1. VERTIKALE
ZELLE - OUM 26 2.7.2. SEITENKONTAKT-ZELLE 27 3. BASISTECHNOLOGIE ZUR
PROZESSIERUNG CHALKOGENIDER PHASENWECHSELMATERIAL- IEN 29 3.1.
STRUKTURDEFINITION: LITHOGRAPHIE . 29 3.2.
PHASENWECHSELMATERIALDEPOSITION: TARGET FACING MAGNETRON SPUTTERDEPO-
SITION (TFMS) 32 3.3. STRUKTURUEBERTRAGUNG: GE 2 SB 2 TE 5 -AETZPROZESSE
32 3.3.1. IONENSTRAHL-AETZPROZESS (IBE) 33 3.3.2. BORTRICHLORID (BC1 3
)-RIE AETZPROZESS 35 3.4. ELEKTRISCHE KONTAKTIERUNG VON
PHASENWECHSELMATERIALSCHICHTEN 37 3.4.1. METALLKONTAKTE AUF AMORPHEM GE
2 SB 2 TE 5 38 3.4.2. METALLKONTAKTE AUF KRISTALLINEM GE 2 SB 2 TE 5 39
3.4.3. KONTAKTTRANSFERLAENGEN AUF AMORPHEM UND KRISTALLINEM GE 2 SB 2 TE5
41 4. GRUNDLAGENUNTERSUCHUNGEN ZUM ELEKTRISCH INDUZIERTEN PHASENWECHSEL
43 4.1. TESTPROBENDESIGN UND HERSTELLUNG 43 4.2. MESSAUFBAUTEN UND
ANALYSEMETHODEN 44 4.2.1. MESSAUFBAU ZUR ELEKTRISCH INDUZIERTEN
KRISTALLISATION 44 4.2.2. MESSAUFBAU ZUR ISODIABATISCHEN KRISTALLISATION
UND ELEKTRISCHEN UND OPTISCHEN KORRELATIONSMESSUNG WAEHREND DER
KRISTALLISATION . 46 4.3. ELEKTRISCH INDUZIERTE KRISTALLISATION 53
4.3.1. LEITFAEHIGKEITSKONTRAST ZWISCHEN DER AMORPHEN UND DER KRISTALLINEN
PHASE 54 4.3.2. LADUNGSTRAEGERTRANSPORTPHAENOMENE BEI KLEINEN FELDSTAERKEN
. . . . 55 4.3.3. LADUNGSTRAEGERTRANSPORT BEI HOHEN FELDSTAERKEN UND
PHASENWECHSEL 62 4.3.4. DER ISOTROPE PERKOLATIONSEFFEKT IM
ISODIABATISCHEN KRISTALLISATI- ONSEXPERIMENT 67 4.4. DER
SELBSTINDUZIERTE PERKOLATIONSEFFEKT - GESTEUERTE PERKOLATION 75 5.
(UTRENCH-BAUELEMENTE 81 5.1. LATERALE PCRAM-ZELLENDESIGNKONZEPTE 81
5.1.1. AUFBAU EINFACHER LATERALER ZELLARCHITEKTUREN 81 5.1.2. AUFBAU DER
//TRENCN-ZELLE 82 5.2. HERSTELLUNGSPROZESS DER ^TRENCH-BAUELEMENTE 86
5.2.1. TECHNOLOGIEFOLGE ZUR HERSTELLUNG DER /LTTRENCH-BAUELEMENTE . . .
. 86 5.2.2. PROZESSBEWERTUNG UND FEHLERANALYSE 90 5.3. MESSAUFBAU 93
5.3.1. MESSAUFBAU ZUR ELEKTRISCHEN CHARAKTERISIERUNG DER STATISCHEN SET-
OPERATION 93 5.3.2. MESSAUFBAU ZUR PULSEFFEKT CHARAKTERISIERUNG 94 5.4.
ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG DER ^TRENCH-ZELLE 98 5.4.1. STATISCHE
SET-OPERATION 98 5.4.2. PULSEFFEKT-MESSUNG 100 5.4.3.
AUSFALLMECHANISMEN 102 6. ZUSAMMENFASSUNG 107 7. AUSBLICK 109 A.
LITERATURVERZEICHNIS 113 B. VEROEFFENTLICHUNGSLISTE 119 B.L.
VEROEFFENTLICHUNGEN IM ZUSAMMENHANG MIT DER DISSERTATION 119 B.2. UEBER
DAS DISSERTATIONSTHEMA HINAUSGEHENDE VEROEFFENTLICHUNGEN 120 C.
ABBILDUNGSVERZEICHNIS 121 D. TABELLENVERZEICHNIS 125 E.
SYMBOLVERZEICHNIS 127 F. ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 131 G. LEBENSLAUF
(CURRICULUM VITAE) * 133
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