Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen:
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Bamberg
Meisenbach
2008
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| Series: | Fertigungstechnik Erlangen
198 |
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| Physical Description: | 113 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm |
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INHALTSVERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS FORMELZEICHEN UND ABKUERZUNGEN 10 1
EINFUEHRUNG 13 2 STAND DER TECHNIK UND FORSCHUNG 15 2.1
STRAHLEIGENSCHAFTEN VON EXCIMERLASERN 15 2.2 WERKSTOFFABTRAG 18 2.3
PHYSIKALISCHE VORGAENGE BEI DER STRAHL-STOFF-WECHSELWIRKUNG 22 2.4
MATERIALABLAGERUNGEN: ENTSTEHUNG UND VERMEIDUNG 28 2.4.1
QUALITAETSANFORDERUNGEN BEI DER STRUKTURIERUNG 28 2.4.2 ENTSTEHUNG VON
MATERIALABLAGERUNGEN 29 2.4.3 KONVENTIONELLE VERFAHREN ZUR VERMEIDUNG
VON MATERIALABLAGERUNGEN. 30 2.5 EINSATZ VON FLUESSIGKEITEN BEI DER
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 32 2.5.1 REINIGUNGSVERFAHREN ZUR
ENTFERNUNG VON MATERIALABLAGERUNGEN 32 2.5.2 EINSATZ VON FLUESSIGKEITEN
WAEHREND DES MATERIALABTRAGS 34 2.6 VERHALTEN VON FLUESSIGKEITEN BEI
SCHNELLER ERWAERMUNG 36 3 ZIELSETZUNG DER ARBEIT 39 4
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 41 4.1 VERSUCHSWERKSTOFFE 41 4.1.1 KERAMISCHE
WERKSTOFFE 41 4.1.2 METALLISCHE WERKSTOFFE 42 4.2
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 42 4.2.1 STRAHLQUELLE 42 4.2.2
STRAHLFUEHRUNG UND-FORMUNG 42 4.2.3 VERSUCHSPARAMETER FUER DIE
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 44 4.3 VERWENDETE
FLUESSIGKEITSGEMISCHE 45 4.3.1 ALKOHOLISCHE ZUSAETZE 45 4.3.2 TENSIDE 46
4.3.3 PYRENE 47 4.3.4 GRAPHIT 47 4.4 VERSUCHSAUFBAU ZUR AUFBRINGUNG
EINES FLUESSIGKEITSFILMS . BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/991222474 DIGITALISIERT DURCH LITERATURVERZEICHNIS 4.6
CHARAKTERISIERUNG DES FLUESSIGKEITSFILMES 53 4.6.1 ERMITTLUNG DES
KONTAKTWINKELS 53 4.6.2 BESTIMMUNG DER FLUESSIGKEITS-FILMDICKE 53 4.7
CHARAKTERISIERUNG DER BEARBEITUNGSERGEBNISSE 54 4.7.1 MIKROSKOPIE 54
4.7.2 BESTIMMUNG DER OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE 54 EIGENSCHAFTEN DER
FLUESSIGKEITEN UND DER FLUESSIGKEITSFILME 57 5.1 AUSGEWAEHLTE EIGENSCHAFTEN
DER FLUESSIGKEITSGEMISCHE 57 5.1.1 TRANSMISSION 57 5.1.2 BRECHUNGSINDEX
58 5.1.3 KONTAKTWINKEL 58 5.2 AUSBILDUNG DES FLUESSIGKEITSFILMS 59 5.2.1
FILMDICKE 59 5.2.2 TROPFEN-GROESSE 60 5.3 ABSCHWAECHUNG DES LASERSTRAHLS
DURCH DIE FLUESSIGKEIT 61 BEARBEITUNGSERGEBNISSE UND PROZESSBESCHREIBUNG
67 6.1 ABTRAGSVERHALTEN BEI TROCKENER BEARBEITUNG 67 6.1.1 KERAMIKEN 67
6.1.2 STAHL 69 6.2 OPTISCHE UND AKUSTISCHE PROZESSEMISSIONEN BEI
VERWENDUNG EINES FLUESSIGKEITSFILMES 71 6.2.1 PLASMABILDUNG 71 6.2.2
SCHALLEMISSION 71 6.3 ABTRAGSVERHALTEN BEI VERWENDUNG VON GERING
ABSORBIERENDEN FLUESSIGKEITEN 72 6.3.1 ABTRAGSRATEN BEI REINEM
DEIONISIERTEN WASSER 72 6.3.2 ABTRAGSRATEN BEI ALKOHOLISCHEN ZUSAETZEN 79
6.3.3 RAUHEIT IM STRUKTURGRUND 82 6.3.4 ERZEUGUNG DREIDIMENSIONAL
KOMPLEX GEFORMTER STRUKTUREN 84 6.3.5 ZUSAMMENFASSENDE DISKUSSION 86 6.
INHALTSVERZEICH MIS 6.5.4 PHASE 4: UEBERHITZEN DER FLUESSIGKEIT UND
ANSCHLIESSENDES EXPLOSIONSARTIGES VERDAMPFEN 93 6.5.5 EINFLUSS VON
ADDITIVEN AUF DAS VERHALTEN DES SYSTEMS SUBSTRAT/FLUESSIGKEIT 94 7
HINWEISE FUER DIE INDUSTRIELLE ANWENDUNG 97 8 ZUSAMMENFASSUNG UND
AUSBLICK 99 9 SUMMARY 101 10 LITERATURVERZEICHNIS 103 11 ANHANG 113 11.1
ABSCHAETZUNG DER WAERMETRANSPORTZEIT IN RADIALER RICHTUNG 113 11.2
ABSCHAETZUNG DER WAERMETRANSPORTZEIT IN Z-RICHTUNG 113 113 BESTIMMUNG DER
INTENSITAET DER LASERSTRAHLUNG 113 |
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INHALTSVERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS FORMELZEICHEN UND ABKUERZUNGEN 10 1
EINFUEHRUNG 13 2 STAND DER TECHNIK UND FORSCHUNG 15 2.1
STRAHLEIGENSCHAFTEN VON EXCIMERLASERN 15 2.2 WERKSTOFFABTRAG 18 2.3
PHYSIKALISCHE VORGAENGE BEI DER STRAHL-STOFF-WECHSELWIRKUNG 22 2.4
MATERIALABLAGERUNGEN: ENTSTEHUNG UND VERMEIDUNG 28 2.4.1
QUALITAETSANFORDERUNGEN BEI DER STRUKTURIERUNG 28 2.4.2 ENTSTEHUNG VON
MATERIALABLAGERUNGEN 29 2.4.3 KONVENTIONELLE VERFAHREN ZUR VERMEIDUNG
VON MATERIALABLAGERUNGEN. 30 2.5 EINSATZ VON FLUESSIGKEITEN BEI DER
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 32 2.5.1 REINIGUNGSVERFAHREN ZUR
ENTFERNUNG VON MATERIALABLAGERUNGEN 32 2.5.2 EINSATZ VON FLUESSIGKEITEN
WAEHREND DES MATERIALABTRAGS 34 2.6 VERHALTEN VON FLUESSIGKEITEN BEI
SCHNELLER ERWAERMUNG 36 3 ZIELSETZUNG DER ARBEIT 39 4
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 41 4.1 VERSUCHSWERKSTOFFE 41 4.1.1 KERAMISCHE
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STRAHLFUEHRUNG UND-FORMUNG 42 4.2.3 VERSUCHSPARAMETER FUER DIE
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 44 4.3 VERWENDETE
FLUESSIGKEITSGEMISCHE 45 4.3.1 ALKOHOLISCHE ZUSAETZE 45 4.3.2 TENSIDE 46
4.3.3 PYRENE 47 4.3.4 GRAPHIT 47 4.4 VERSUCHSAUFBAU ZUR AUFBRINGUNG
EINES FLUESSIGKEITSFILMS . BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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CHARAKTERISIERUNG DES FLUESSIGKEITSFILMES 53 4.6.1 ERMITTLUNG DES
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CHARAKTERISIERUNG DER BEARBEITUNGSERGEBNISSE 54 4.7.1 MIKROSKOPIE 54
4.7.2 BESTIMMUNG DER OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE 54 EIGENSCHAFTEN DER
FLUESSIGKEITEN UND DER FLUESSIGKEITSFILME 57 5.1 AUSGEWAEHLTE EIGENSCHAFTEN
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58 5.1.3 KONTAKTWINKEL 58 5.2 AUSBILDUNG DES FLUESSIGKEITSFILMS 59 5.2.1
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DURCH DIE FLUESSIGKEIT 61 BEARBEITUNGSERGEBNISSE UND PROZESSBESCHREIBUNG
67 6.1 ABTRAGSVERHALTEN BEI TROCKENER BEARBEITUNG 67 6.1.1 KERAMIKEN 67
6.1.2 STAHL 69 6.2 OPTISCHE UND AKUSTISCHE PROZESSEMISSIONEN BEI
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DEIONISIERTEN WASSER 72 6.3.2 ABTRAGSRATEN BEI ALKOHOLISCHEN ZUSAETZEN 79
6.3.3 RAUHEIT IM STRUKTURGRUND 82 6.3.4 ERZEUGUNG DREIDIMENSIONAL
KOMPLEX GEFORMTER STRUKTUREN 84 6.3.5 ZUSAMMENFASSENDE DISKUSSION 86 6.
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ANSCHLIESSENDES EXPLOSIONSARTIGES VERDAMPFEN 93 6.5.5 EINFLUSS VON
ADDITIVEN AUF DAS VERHALTEN DES SYSTEMS SUBSTRAT/FLUESSIGKEIT 94 7
HINWEISE FUER DIE INDUSTRIELLE ANWENDUNG 97 8 ZUSAMMENFASSUNG UND
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