Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Bamberg
Meisenbach
2008
|
| Schriftenreihe: | Fertigungstechnik Erlangen
198 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext Volltext Volltext Volltext Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 113 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm |
| ISBN: | 9783875252811 |
| DOI: | 10.25593/978-3-87525-281-1 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV035172059 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20190617 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 081120s2008 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 08,N48,0746 |2 dnb | ||
| 016 | 7 | |a 991222474 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 9783875252811 |c kart. : EUR 45.00 |9 978-3-87525-281-1 | ||
| 024 | 3 | |a 9783875252811 | |
| 035 | |a (OCoLC)300067312 | ||
| 035 | |a (DE-599)DNB991222474 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rda | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 |a DE-29 |a DE-22 |a DE-210 |a DE-29T |a DE-83 | ||
| 082 | 0 | |a 671.35 |2 22/ger | |
| 084 | |a UH 5750 |0 (DE-625)145705: |2 rvk | ||
| 084 | |a ZM 7670 |0 (DE-625)157139: |2 rvk | ||
| 084 | |a 670 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Roth, Stephan |e Verfasser |0 (DE-588)136702880 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen |c Stephan Roth |
| 264 | 1 | |a Bamberg |b Meisenbach |c 2008 | |
| 300 | |a 113 Seiten |b Illustrationen, Diagramme |c 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Fertigungstechnik Erlangen |v 198 | |
| 502 | |b Dissertation |c Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |d 2008 | ||
| 650 | 4 | |a Mikrosystemtechnik - Laserablation - Excimerlaser - Flüssigkeitsfilm | |
| 650 | 0 | 7 | |a Flüssigkeitsfilm |0 (DE-588)4121280-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laserablation |0 (DE-588)4279134-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikrosystemtechnik |0 (DE-588)4221617-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Laserablation |0 (DE-588)4279134-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Excimerlaser |0 (DE-588)4153300-8 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Flüssigkeitsfilm |0 (DE-588)4121280-0 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 776 | 0 | 8 | |i Erscheint auch als |n Online-Ausgabe |o 10.25593/978-3-87525-281-1 |
| 830 | 0 | |a Fertigungstechnik Erlangen |v 198 |w (DE-604)BV035417891 |9 198 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://open.fau.de/handle/openfau/11138 |x Verlag |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 1 | |u https://doi.org/10.25593/978-3-87525-281-1 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 1 | |u https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-111380 |x Resolving-System |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 1 | |u http://d-nb.info/1188466976/34 |x Langzeitarchivierung Nationalbibliothek |z kostenfrei |3 Volltext |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016978978&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 912 | |a ebook | ||
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-016978978 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812898719440306176 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS FORMELZEICHEN UND ABKUERZUNGEN 10 1
EINFUEHRUNG 13 2 STAND DER TECHNIK UND FORSCHUNG 15 2.1
STRAHLEIGENSCHAFTEN VON EXCIMERLASERN 15 2.2 WERKSTOFFABTRAG 18 2.3
PHYSIKALISCHE VORGAENGE BEI DER STRAHL-STOFF-WECHSELWIRKUNG 22 2.4
MATERIALABLAGERUNGEN: ENTSTEHUNG UND VERMEIDUNG 28 2.4.1
QUALITAETSANFORDERUNGEN BEI DER STRUKTURIERUNG 28 2.4.2 ENTSTEHUNG VON
MATERIALABLAGERUNGEN 29 2.4.3 KONVENTIONELLE VERFAHREN ZUR VERMEIDUNG
VON MATERIALABLAGERUNGEN. 30 2.5 EINSATZ VON FLUESSIGKEITEN BEI DER
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 32 2.5.1 REINIGUNGSVERFAHREN ZUR
ENTFERNUNG VON MATERIALABLAGERUNGEN 32 2.5.2 EINSATZ VON FLUESSIGKEITEN
WAEHREND DES MATERIALABTRAGS 34 2.6 VERHALTEN VON FLUESSIGKEITEN BEI
SCHNELLER ERWAERMUNG 36 3 ZIELSETZUNG DER ARBEIT 39 4
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 41 4.1 VERSUCHSWERKSTOFFE 41 4.1.1 KERAMISCHE
WERKSTOFFE 41 4.1.2 METALLISCHE WERKSTOFFE 42 4.2
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 42 4.2.1 STRAHLQUELLE 42 4.2.2
STRAHLFUEHRUNG UND-FORMUNG 42 4.2.3 VERSUCHSPARAMETER FUER DIE
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 44 4.3 VERWENDETE
FLUESSIGKEITSGEMISCHE 45 4.3.1 ALKOHOLISCHE ZUSAETZE 45 4.3.2 TENSIDE 46
4.3.3 PYRENE 47 4.3.4 GRAPHIT 47 4.4 VERSUCHSAUFBAU ZUR AUFBRINGUNG
EINES FLUESSIGKEITSFILMS . BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/991222474 DIGITALISIERT DURCH LITERATURVERZEICHNIS 4.6
CHARAKTERISIERUNG DES FLUESSIGKEITSFILMES 53 4.6.1 ERMITTLUNG DES
KONTAKTWINKELS 53 4.6.2 BESTIMMUNG DER FLUESSIGKEITS-FILMDICKE 53 4.7
CHARAKTERISIERUNG DER BEARBEITUNGSERGEBNISSE 54 4.7.1 MIKROSKOPIE 54
4.7.2 BESTIMMUNG DER OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE 54 EIGENSCHAFTEN DER
FLUESSIGKEITEN UND DER FLUESSIGKEITSFILME 57 5.1 AUSGEWAEHLTE EIGENSCHAFTEN
DER FLUESSIGKEITSGEMISCHE 57 5.1.1 TRANSMISSION 57 5.1.2 BRECHUNGSINDEX
58 5.1.3 KONTAKTWINKEL 58 5.2 AUSBILDUNG DES FLUESSIGKEITSFILMS 59 5.2.1
FILMDICKE 59 5.2.2 TROPFEN-GROESSE 60 5.3 ABSCHWAECHUNG DES LASERSTRAHLS
DURCH DIE FLUESSIGKEIT 61 BEARBEITUNGSERGEBNISSE UND PROZESSBESCHREIBUNG
67 6.1 ABTRAGSVERHALTEN BEI TROCKENER BEARBEITUNG 67 6.1.1 KERAMIKEN 67
6.1.2 STAHL 69 6.2 OPTISCHE UND AKUSTISCHE PROZESSEMISSIONEN BEI
VERWENDUNG EINES FLUESSIGKEITSFILMES 71 6.2.1 PLASMABILDUNG 71 6.2.2
SCHALLEMISSION 71 6.3 ABTRAGSVERHALTEN BEI VERWENDUNG VON GERING
ABSORBIERENDEN FLUESSIGKEITEN 72 6.3.1 ABTRAGSRATEN BEI REINEM
DEIONISIERTEN WASSER 72 6.3.2 ABTRAGSRATEN BEI ALKOHOLISCHEN ZUSAETZEN 79
6.3.3 RAUHEIT IM STRUKTURGRUND 82 6.3.4 ERZEUGUNG DREIDIMENSIONAL
KOMPLEX GEFORMTER STRUKTUREN 84 6.3.5 ZUSAMMENFASSENDE DISKUSSION 86 6.
INHALTSVERZEICH MIS 6.5.4 PHASE 4: UEBERHITZEN DER FLUESSIGKEIT UND
ANSCHLIESSENDES EXPLOSIONSARTIGES VERDAMPFEN 93 6.5.5 EINFLUSS VON
ADDITIVEN AUF DAS VERHALTEN DES SYSTEMS SUBSTRAT/FLUESSIGKEIT 94 7
HINWEISE FUER DIE INDUSTRIELLE ANWENDUNG 97 8 ZUSAMMENFASSUNG UND
AUSBLICK 99 9 SUMMARY 101 10 LITERATURVERZEICHNIS 103 11 ANHANG 113 11.1
ABSCHAETZUNG DER WAERMETRANSPORTZEIT IN RADIALER RICHTUNG 113 11.2
ABSCHAETZUNG DER WAERMETRANSPORTZEIT IN Z-RICHTUNG 113 113 BESTIMMUNG DER
INTENSITAET DER LASERSTRAHLUNG 113 |
| adam_txt |
INHALTSVERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS FORMELZEICHEN UND ABKUERZUNGEN 10 1
EINFUEHRUNG 13 2 STAND DER TECHNIK UND FORSCHUNG 15 2.1
STRAHLEIGENSCHAFTEN VON EXCIMERLASERN 15 2.2 WERKSTOFFABTRAG 18 2.3
PHYSIKALISCHE VORGAENGE BEI DER STRAHL-STOFF-WECHSELWIRKUNG 22 2.4
MATERIALABLAGERUNGEN: ENTSTEHUNG UND VERMEIDUNG 28 2.4.1
QUALITAETSANFORDERUNGEN BEI DER STRUKTURIERUNG 28 2.4.2 ENTSTEHUNG VON
MATERIALABLAGERUNGEN 29 2.4.3 KONVENTIONELLE VERFAHREN ZUR VERMEIDUNG
VON MATERIALABLAGERUNGEN. 30 2.5 EINSATZ VON FLUESSIGKEITEN BEI DER
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 32 2.5.1 REINIGUNGSVERFAHREN ZUR
ENTFERNUNG VON MATERIALABLAGERUNGEN 32 2.5.2 EINSATZ VON FLUESSIGKEITEN
WAEHREND DES MATERIALABTRAGS 34 2.6 VERHALTEN VON FLUESSIGKEITEN BEI
SCHNELLER ERWAERMUNG 36 3 ZIELSETZUNG DER ARBEIT 39 4
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG 41 4.1 VERSUCHSWERKSTOFFE 41 4.1.1 KERAMISCHE
WERKSTOFFE 41 4.1.2 METALLISCHE WERKSTOFFE 42 4.2
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 42 4.2.1 STRAHLQUELLE 42 4.2.2
STRAHLFUEHRUNG UND-FORMUNG 42 4.2.3 VERSUCHSPARAMETER FUER DIE
EXCIMERLASERSTRAHL-MATERIALBEARBEITUNG 44 4.3 VERWENDETE
FLUESSIGKEITSGEMISCHE 45 4.3.1 ALKOHOLISCHE ZUSAETZE 45 4.3.2 TENSIDE 46
4.3.3 PYRENE 47 4.3.4 GRAPHIT 47 4.4 VERSUCHSAUFBAU ZUR AUFBRINGUNG
EINES FLUESSIGKEITSFILMS . BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/991222474 DIGITALISIERT DURCH LITERATURVERZEICHNIS 4.6
CHARAKTERISIERUNG DES FLUESSIGKEITSFILMES 53 4.6.1 ERMITTLUNG DES
KONTAKTWINKELS 53 4.6.2 BESTIMMUNG DER FLUESSIGKEITS-FILMDICKE 53 4.7
CHARAKTERISIERUNG DER BEARBEITUNGSERGEBNISSE 54 4.7.1 MIKROSKOPIE 54
4.7.2 BESTIMMUNG DER OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE 54 EIGENSCHAFTEN DER
FLUESSIGKEITEN UND DER FLUESSIGKEITSFILME 57 5.1 AUSGEWAEHLTE EIGENSCHAFTEN
DER FLUESSIGKEITSGEMISCHE 57 5.1.1 TRANSMISSION 57 5.1.2 BRECHUNGSINDEX
58 5.1.3 KONTAKTWINKEL 58 5.2 AUSBILDUNG DES FLUESSIGKEITSFILMS 59 5.2.1
FILMDICKE 59 5.2.2 TROPFEN-GROESSE 60 5.3 ABSCHWAECHUNG DES LASERSTRAHLS
DURCH DIE FLUESSIGKEIT 61 BEARBEITUNGSERGEBNISSE UND PROZESSBESCHREIBUNG
67 6.1 ABTRAGSVERHALTEN BEI TROCKENER BEARBEITUNG 67 6.1.1 KERAMIKEN 67
6.1.2 STAHL 69 6.2 OPTISCHE UND AKUSTISCHE PROZESSEMISSIONEN BEI
VERWENDUNG EINES FLUESSIGKEITSFILMES 71 6.2.1 PLASMABILDUNG 71 6.2.2
SCHALLEMISSION 71 6.3 ABTRAGSVERHALTEN BEI VERWENDUNG VON GERING
ABSORBIERENDEN FLUESSIGKEITEN 72 6.3.1 ABTRAGSRATEN BEI REINEM
DEIONISIERTEN WASSER 72 6.3.2 ABTRAGSRATEN BEI ALKOHOLISCHEN ZUSAETZEN 79
6.3.3 RAUHEIT IM STRUKTURGRUND 82 6.3.4 ERZEUGUNG DREIDIMENSIONAL
KOMPLEX GEFORMTER STRUKTUREN 84 6.3.5 ZUSAMMENFASSENDE DISKUSSION 86 6.
INHALTSVERZEICH MIS 6.5.4 PHASE 4: UEBERHITZEN DER FLUESSIGKEIT UND
ANSCHLIESSENDES EXPLOSIONSARTIGES VERDAMPFEN 93 6.5.5 EINFLUSS VON
ADDITIVEN AUF DAS VERHALTEN DES SYSTEMS SUBSTRAT/FLUESSIGKEIT 94 7
HINWEISE FUER DIE INDUSTRIELLE ANWENDUNG 97 8 ZUSAMMENFASSUNG UND
AUSBLICK 99 9 SUMMARY 101 10 LITERATURVERZEICHNIS 103 11 ANHANG 113 11.1
ABSCHAETZUNG DER WAERMETRANSPORTZEIT IN RADIALER RICHTUNG 113 11.2
ABSCHAETZUNG DER WAERMETRANSPORTZEIT IN Z-RICHTUNG 113 113 BESTIMMUNG DER
INTENSITAET DER LASERSTRAHLUNG 113 |
| any_adam_object | 1 |
| any_adam_object_boolean | 1 |
| author | Roth, Stephan |
| author_GND | (DE-588)136702880 |
| author_facet | Roth, Stephan |
| author_role | aut |
| author_sort | Roth, Stephan |
| author_variant | s r sr |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV035172059 |
| classification_rvk | UH 5750 ZM 7670 |
| collection | ebook |
| ctrlnum | (OCoLC)300067312 (DE-599)DNB991222474 |
| dewey-full | 671.35 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 671 - Metalworking & primary metal products |
| dewey-raw | 671.35 |
| dewey-search | 671.35 |
| dewey-sort | 3671.35 |
| dewey-tens | 670 - Manufacturing |
| discipline | Physik Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| discipline_str_mv | Physik Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| doi_str_mv | 10.25593/978-3-87525-281-1 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV035172059</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20190617</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">081120s2008 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">08,N48,0746</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">991222474</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783875252811</subfield><subfield code="c">kart. : EUR 45.00</subfield><subfield code="9">978-3-87525-281-1</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="3" ind2=" "><subfield code="a">9783875252811</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)300067312</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB991222474</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-22</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">671.35</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UH 5750</subfield><subfield code="0">(DE-625)145705:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 7670</subfield><subfield code="0">(DE-625)157139:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">670</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Roth, Stephan</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)136702880</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen</subfield><subfield code="c">Stephan Roth</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Bamberg</subfield><subfield code="b">Meisenbach</subfield><subfield code="c">2008</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">113 Seiten</subfield><subfield code="b">Illustrationen, Diagramme</subfield><subfield code="c">21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Fertigungstechnik Erlangen</subfield><subfield code="v">198</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">Dissertation</subfield><subfield code="c">Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg</subfield><subfield code="d">2008</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik - Laserablation - Excimerlaser - Flüssigkeitsfilm</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Flüssigkeitsfilm</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121280-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laserablation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4279134-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4221617-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Laserablation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4279134-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Excimerlaser</subfield><subfield code="0">(DE-588)4153300-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Flüssigkeitsfilm</subfield><subfield code="0">(DE-588)4121280-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Online-Ausgabe</subfield><subfield code="o">10.25593/978-3-87525-281-1</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Fertigungstechnik Erlangen</subfield><subfield code="v">198</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV035417891</subfield><subfield code="9">198</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://open.fau.de/handle/openfau/11138</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://doi.org/10.25593/978-3-87525-281-1</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-111380</subfield><subfield code="x">Resolving-System</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="1"><subfield code="u">http://d-nb.info/1188466976/34</subfield><subfield code="x">Langzeitarchivierung Nationalbibliothek</subfield><subfield code="z">kostenfrei</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016978978&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ebook</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-016978978</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV035172059 |
| illustrated | Illustrated |
| index_date | 2024-07-02T22:54:41Z |
| indexdate | 2024-10-14T14:09:06Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783875252811 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-016978978 |
| oclc_num | 300067312 |
| open_access_boolean | 1 |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-29 DE-22 DE-BY-UBG DE-210 DE-29T DE-83 |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM DE-29 DE-22 DE-BY-UBG DE-210 DE-29T DE-83 |
| physical | 113 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm |
| psigel | ebook |
| publishDate | 2008 |
| publishDateSearch | 2008 |
| publishDateSort | 2008 |
| publisher | Meisenbach |
| record_format | marc |
| series | Fertigungstechnik Erlangen |
| series2 | Fertigungstechnik Erlangen |
| spelling | Roth, Stephan Verfasser (DE-588)136702880 aut Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen Stephan Roth Bamberg Meisenbach 2008 113 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Fertigungstechnik Erlangen 198 Dissertation Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2008 Mikrosystemtechnik - Laserablation - Excimerlaser - Flüssigkeitsfilm Flüssigkeitsfilm (DE-588)4121280-0 gnd rswk-swf Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd rswk-swf Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd rswk-swf Laserablation (DE-588)4279134-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 s Laserablation (DE-588)4279134-0 s Excimerlaser (DE-588)4153300-8 s Flüssigkeitsfilm (DE-588)4121280-0 s DE-604 Erscheint auch als Online-Ausgabe 10.25593/978-3-87525-281-1 Fertigungstechnik Erlangen 198 (DE-604)BV035417891 198 https://open.fau.de/handle/openfau/11138 Verlag kostenfrei Volltext https://doi.org/10.25593/978-3-87525-281-1 Resolving-System kostenfrei Volltext https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-111380 Resolving-System kostenfrei Volltext http://d-nb.info/1188466976/34 Langzeitarchivierung Nationalbibliothek kostenfrei Volltext DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016978978&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Roth, Stephan Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen Fertigungstechnik Erlangen Mikrosystemtechnik - Laserablation - Excimerlaser - Flüssigkeitsfilm Flüssigkeitsfilm (DE-588)4121280-0 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Laserablation (DE-588)4279134-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4121280-0 (DE-588)4221617-5 (DE-588)4153300-8 (DE-588)4279134-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen |
| title_auth | Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen |
| title_exact_search | Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen |
| title_exact_search_txtP | Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen |
| title_full | Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen Stephan Roth |
| title_fullStr | Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen Stephan Roth |
| title_full_unstemmed | Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen Stephan Roth |
| title_short | Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen |
| title_sort | grundlegende untersuchungen zum excimerlaserstrahl abtragen unter flussigkeitsfilmen |
| topic | Mikrosystemtechnik - Laserablation - Excimerlaser - Flüssigkeitsfilm Flüssigkeitsfilm (DE-588)4121280-0 gnd Mikrosystemtechnik (DE-588)4221617-5 gnd Excimerlaser (DE-588)4153300-8 gnd Laserablation (DE-588)4279134-0 gnd |
| topic_facet | Mikrosystemtechnik - Laserablation - Excimerlaser - Flüssigkeitsfilm Flüssigkeitsfilm Mikrosystemtechnik Excimerlaser Laserablation Hochschulschrift |
| url | https://open.fau.de/handle/openfau/11138 https://doi.org/10.25593/978-3-87525-281-1 https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-111380 http://d-nb.info/1188466976/34 http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016978978&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV035417891 |
| work_keys_str_mv | AT rothstephan grundlegendeuntersuchungenzumexcimerlaserstrahlabtragenunterflussigkeitsfilmen |