APA-Zitierstil (7. Ausg.)

(2007). Microlithography: Science and technology (2. ed.). CRC Press.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Microlithography: Science and Technology. 2. ed. Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 2007.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Microlithography: Science and Technology. 2. ed. CRC Press, 2007.