Aufbau einer Bulge-Test-Apparatur zur Messung der mechanischen Eigenschaften dünner Filme im Rasterkraftmikroskop:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
München
Verl. Dr. Hut
2008
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Werkstoffwissenschaften
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | III, 156 S. Ill., graph. Darst. |
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|---|---|
| adam_text | INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 THEORETISCHE GRUNDLAGEN 7 2.1 VON
GROSS NACH KLEIN - EINFLUSS EINER DIMENSIONSEINSCHRAENKUNG AUF
METALLPHYSIKALISCHE EFFEKTE 7 2.2 MESSUNG DER MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN
- METHODEN DER DUENNFILMCHARAKTERISIERUNG 13 2.2.1 DIE BULGETEST-METHODE
15 2.2.2 ABWEICHUNGEN EINER REALEN MEMBRAN VOM MODELL . . 21 2.2.3 DAS
SPANNUNGS-DEHNUNGSVERHALTEN VON DOPPELSCHICH- TEN 23 2.2.4
NANOINDENTIERUNG 25 2.2.5 WEITERE METHODEN DER DUENNFILMCHARAKTERISIERUNG
. . 30 3 EXPERIMENTELLER AUFBAU DES BULGETESTS 33 3.1 DRUCKREGELUNG 34
3.2 VERSCHIEBUNGSMESSUNG 37 3.3 DATENERFASSUNG/ANSTEUERUNG 38 3.4
MESSGENAUIGKEIT 40 3.5 RELATIVE GEGEN ABSOLUTE BULGEHOEHE - AUSWIRKUNGEN
AUF DIE AUSWERTUNG 41 3.6 BULGETESTING IM RASTERKRAFTMIKROSKOP 45 4
EXEMPLARISCHE DUCHFUEHRUNG EINER BULGE-TEST-MESSUNG 47 4.1 VORBEREITUNG
47 4.2 ERSTELLEN EINES LASTPROFILS 48 BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/991284569 DIGITALISIERT DURCH 4.3 START 49 4.4
DATEI-FORMAT 50 4.4.1 MESSDATEN-DATEI 50 4.4.2 LASTPROFIL-DATEI 50 4.5
LATERALE JUSTAGE - ANFAHREN DES MEMBRANMITTELPUNKTES . . 51 4.6
BULGETESTING IM AFM-BETRIEB 53 5 PROBENPRAEPARATION UND
-CHARAKTERISIERUNG 55 5.1 MEMBRANHERSTELLUNG MITTELS MICROMACHINING 55
5.2 SCHICHTABSCHEIDUNG 57 5.2.1 PRINZIPIEN 57 5.2.2 SCHICHTWACHSTUM UND
WAERMEBEHANDLUNG 58 5.3 MEMBRANHERSTELLUNG DURCH DIE
SCHICHT-ABLOESE-TECHNIK ... 64 5.4 SCHICHTCHARAKTERISIERUNG 66 6 EX-SITU
BULGE-TEST-EXPERIMENTE 71 6.1 IDEAL-ELASTISCHE EINFACHSCHICHTEN 71 6.2
ELASTISCH-PLASTISCHE EINFACHSCHICHTEN 77 6.3 DOPPELSCHICHTMEMBRANEN 82
6.3.1 UEBERPRUEFUNG DER ANWENDBARKEIT DES DOPPELSCHICHT- MODELS MITTELS
DER FINITEN-ELEMENTE-METHODE (FEM) 82 6.3.2 KUPFERSCHICHT 85 7 IN-SITU
BULGETESTING IM RASTERKRAFTMIKROSKOP 89 7.1 TOPOGRAPHIE IM
ABSCHEIDUNGSZUSTAND & THERMISCHES AETZEN 89 7.2 LOKALES POLIEREN 93 7.3
FOCUSED ION BEAM -PRAEPARATION 95 7.3.1 PRINZIP DES FOCUSED ION BEAM
MIKROSKOPS 95 7.3.2 GEFUEGE-TOPOGRAPHIEKONTRAST DURCH
ORIENTIERUNGSABHAENGI- GES IONENSPUTTERN 96 7.3.3 GEFUEGEABBILDUNG UNTER
LAST (BISA-MODUS) 98 7.3.4 SCHAEDIGUNG DURCH WECHSELWIRKUNG ZWISCHEN
GALLIUM- IONEN UND PROBE 100 7.4 BRUCHMECHANISCHE UNTERSUCHUNGEN AN
DUENNFILMEN 104 8 ERGEBNISSE UND DISKUSSION 111 I 8.1 ELASTISCHE
EIGENSCHAFTEN 111 8.1.1 TEXTURBEDINGTE ELASTISCHE ANISOTROPIE DER
CU-FILME 111 8.2 BESTIMMUNG DER FLIESSSPANNUNG 114 8.2.1 ... AUS
BULGETEST-MESSUNGEN 114 8.2.2 ... AUS INDENTIERUNGSMESSUNGEN 118 8.2.3
MODELLIERUNG DER FLIESSSPANNUNGSEFFEKTE 121 8.3 BESTIMMUNG DER
FILMEIGENSPANNUNG 124 9 ZUSAMMENFASSUNG & AUSBLICK 127 9.1
ZUSAMMENFASSUNG 127 9.2 AUSBLICK 128 A LISTE DER VARIABLEN 131 B
MESSFEHLERABSCHAETZUNG DES VERSCHIEBUNGSSENSORS 133 B.L LATERALE
DEJUSTAGE 133 B.2 DETEKTORVERKIPPUNG 134 C PYTHON-SKRIPTE 137 C.L
AUFFINDEN DER ANFANGSBULGEHOEHE HI 137 C.2 AUSWERTUNG VON P-H-KURVEN 140
LITERATURVERZEICHNIS 145 HI
|
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INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 THEORETISCHE GRUNDLAGEN 7 2.1 VON
GROSS NACH KLEIN - EINFLUSS EINER DIMENSIONSEINSCHRAENKUNG AUF
METALLPHYSIKALISCHE EFFEKTE 7 2.2 MESSUNG DER MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN
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| spelling | Schweitzer, Elmar Werner Verfasser aut Aufbau einer Bulge-Test-Apparatur zur Messung der mechanischen Eigenschaften dünner Filme im Rasterkraftmikroskop Elmar Werner Schweitzer 1. Aufl. München Verl. Dr. Hut 2008 III, 156 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Werkstoffwissenschaften Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2008 Dünne Schicht - Metallschicht - Mikrostruktur - Mechanische Eigenschaft - Prüfgerät - Rasterkraftmikroskop Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 gnd rswk-swf Metallschicht (DE-588)4252858-6 gnd rswk-swf Prüfgerät (DE-588)4274868-9 gnd rswk-swf Rasterkraftmikroskop (DE-588)4333578-0 gnd rswk-swf Mechanische Eigenschaft (DE-588)4217961-0 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Metallschicht (DE-588)4252858-6 s Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 s Mechanische Eigenschaft (DE-588)4217961-0 s Prüfgerät (DE-588)4274868-9 s Rasterkraftmikroskop (DE-588)4333578-0 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=016801031&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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