Ionenstrahl-Ätzung: eine Methode zur Präparation von dünnen Folien
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Springer, Christa (VerfasserIn), Milsch, Beate (VerfasserIn), Gysler, Albrecht (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Köln DFVLR 1974
Schriftenreihe:DFVLR-Sonderdruck 386
Beschreibung:S. 311-322 Ill.

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