Entwicklung einer Prototyp-Kathodenzerstäubungsanlage:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Heimbach, Jürgen (MitwirkendeR)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Bonn BMFT 1983
Ausgabe:als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Forschungsbericht BMFT-FB-T 83
Schlagworte:
Beschreibung:57 S. 25 Abb.

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