Photon, beam and plasma assisted processing: proceedings of Symposium B on Photon, Beam and Plasma Assisted Processing Fundamentals and Device Technology of the 1988 E-MRS spring conference ; Strasbourg, France, 31 May - 2 June 1988
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Boyd, Ian W. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam North Holland 1989
Schriftenreihe:Applied surface science 36
Schlagworte:
Beschreibung:XV, 703 S. Ill., graph. Darst.

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