Bäcklund, Y. (1992). Silicon micromachining: Methodological aspects and applications in biomedical pressure sensors. Univ.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Bäcklund, Ylva. Silicon Micromachining: Methodological Aspects and Applications in Biomedical Pressure Sensors. Uppsala: Univ, 1992.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Bäcklund, Ylva. Silicon Micromachining: Methodological Aspects and Applications in Biomedical Pressure Sensors. Univ, 1992.
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