Kroll, U. J. (1995). VHF-Plasmaabscheidung von amorphem Silizium: Einfluss der Anregungsfrequenz, der Reaktorgestaltung sowie Schichteigenschaften (1. Aufl.). Hartung-Gorre.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Kroll, Ulrich Justus. VHF-Plasmaabscheidung Von Amorphem Silizium: Einfluss Der Anregungsfrequenz, Der Reaktorgestaltung Sowie Schichteigenschaften. 1. Aufl. Konstanz: Hartung-Gorre, 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Kroll, Ulrich Justus. VHF-Plasmaabscheidung Von Amorphem Silizium: Einfluss Der Anregungsfrequenz, Der Reaktorgestaltung Sowie Schichteigenschaften. 1. Aufl. Hartung-Gorre, 1995.
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