VHF-Plasmaabscheidung von amorphem Silizium: Einfluss der Anregungsfrequenz, der Reaktorgestaltung sowie Schichteigenschaften
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Konstanz
Hartung-Gorre
1995
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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| Beschreibung: | 89 S. |
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