Vergleichende Untersuchungen der Kristallperfektion dünner heteroepitaktischer Wolfram-Einkristallschichten mit unterschiedlichem Mosaik-Spread mittels MeV- H+- und He+-Rutherford-Ionenrückstreuung, Röntgen-Zweikristall-Diffraktometrie und Transmissions-Elektronenmikroskopie:
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