Beck, U. (1990). Stöchiometrie- und Schichtsdickenuntersuchungen an PVD-abgeschiedenen Al 2 O 3 - und Ta 2 O 5 -Dünnfilmen mit optischen Methoden.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Beck, Uwe. Stöchiometrie- Und Schichtsdickenuntersuchungen an PVD-abgeschiedenen Al 2 O 3 - Und Ta 2 O 5 -Dünnfilmen Mit Optischen Methoden. 1990.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Beck, Uwe. Stöchiometrie- Und Schichtsdickenuntersuchungen an PVD-abgeschiedenen Al 2 O 3 - Und Ta 2 O 5 -Dünnfilmen Mit Optischen Methoden. 1990.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.