Halbleitertechnologie: 1 Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung
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| Language: | German |
| Published: |
Berlin
Verl. Technik
1981
|
| Edition: | 1. Aufl. |
| Series: | Elektronische Festkörperbauelemente
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| Item Description: | Literaturverz. S. 221 - 234 |
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