Halbleitertechnologie: 1 Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Verl. Technik
1981
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Elektronische Festkörperbauelemente
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| Beschreibung: | Literaturverz. S. 221 - 234 |
| Beschreibung: | 238 S. Ill., graph. Darst. |
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