Verfügbarkeit: Mikrowärmeleitfähigkeitssensor in Siliziumtechnologie für die Analyse von zwei- und dreikomponentigen Gasgemischen

Mikrowärmeleitfähigkeitssensor in Siliziumtechnologie für die Analyse von zwei- und dreikomponentigen Gasgemischen:

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Pollak-Diener, Gerhard (VerfasserIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
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Veröffentlicht:	Berlin 1990
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