Behrisch, R. Sputtering by particle bombardment. Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Behrisch, Rainer. Sputtering by Particle Bombardment. Berlin [u.a.]: Springer.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Behrisch, Rainer. Sputtering by Particle Bombardment. Springer.
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