2. Fachtagung Schichtsysteme für Zukünftige Bauelemente der Mikro-, Opto-, Bioelektronik und Optik:
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| Format: | Tagungsbericht Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karl-Marx-Stadt
Rektor der Technischen Univ.
1989
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| Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Tagungen der Technischen Universität Karl-Marx-Stadt
1989,6 |
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INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
1.
SCHICHTEN FUER BAUELEMENTE DER MIKROELEKTRONIK
A. TEMPEL
PROBLEME DER GAAS/SI-EPITAXIE
B. WOLF, A. ZEHE
ZUR CLUETERBETEILIGUNG AM MBE-WACHSTUM
A. THOMAS, A. ZEHE
EPITAXIALE METALLISIERUNG MITTELS MOLEKULAR-
STRAHL-ABSCHEIDUNG IM UHV
V. DUSEK
PHOTORESIST STRIPPING IN A MICROWAVE PLASMA
AFTERGLOW
2.
SCHICHTEN FUER BAUELEMENTE DER OPTOELEKTRONIK
L. LEHMANN, P. BUSSE, K. JACOBS (1), K, POOSKA,
T. TESSARO
MOVPE ZUR HERSTELLUNG VON OPTOELEKTRONISCHEN BAU
ELEMENTEN
G. ROHDE,
W.
SEIFERT, E. BUTTER, G. OELGART
DARSTELLUNG ABRUPTER HETEROUEBERGAENGE IM SYSTEM
GAIHAS/OP MITTELS APMOCVD
V. GOTTSCHALCH
DARSTELLUNG VON INI-X^^ASYPI-Y/LNP-SCHICHTANORD
NUNGEN MITTELS PLUESSIGPHASENEPITAXIE
UE. SCHADE, P. ENDERS, K. VOGEL,
W.
PRENTRUP, B. UNGAR
ZN-DIFFUSION AUS ISOLATORSCHICHTEN IN
AJ-JB -
HALBLEITER
U. MERKEL, P. MUELLER
MEHRSCHICHTMETALLISIERUNG VON GAAS MITTELS ELEK
TRONENSTRAHLVERDAMPFUNG 59
V. BOTH, L. EICHHORN
PASSIVIERUNGS- UND EFLEXIONSBEEINFLUSSENDE SCHICH- 65
TEN FUER OPTOELEKTRONISCHE BAUELEMENTE
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/910154023
3.
SCHICHTEN FUER SENSOREN UND WANDLER
SEITE
T. DRUESEDAU, S. JAEGER, H. FIEDLER
DARSTELLUNG VON A-SI:H UND A-SLH.SH-SCHICHTEN MIT
TELS PLASMATRONSPUTTEMS UND DEREN PHYSIKALISCHE
CHARAKTERISIERUNG
A. KOTTWITZ, J.-P. MOENCH, K. SCHADE
POTOLEITER MIT AMORPHEM SILICIUM
T. DRUESEDAU, R. BINDEMANN, H. FIEDLER, B. SCHMEI
SSE R,
M.
ECKLER
PHTOLEITERSCHICHTEN FUER DIE ELEK'TROPHOTOGRAPHIE AUF
DER BASIS GESPUTTERTER A-SLIH- UND A-SIHX-H-SCHICHTEN
F. VOELKLEIN, UE. DILLNER, V. BAIER, E. KESSLEI
IRANSPORTEIGENSCHAFTEN VON
BIQ ^SP^ ^TE^-SCHICHTEN
FUER THERMOELEKTRISCHE SENSOREN* *
M. STOELZER, M. STORDEUR, M. VOIGT
CHARAKTERISIERUNG PLASMATRON-GESPUTTERTER THERMO
ELEKTRISCHER HALBLEITERSCHICHTEN VOM B^TE^-TYP
R. REETZ
SCHICHTEN FUER ELEKTROLUMINESZENZDISPLAYS
W. SCHARFF, U. BROEHL, T. WILDE, D. MORAWSKI,
R. KRAUSE, R.G. SAGITOV, V.N. SELESNJEV, J.M. POPOW
SPEKTRALEMPFINDLICHE SENSOREN AUF DER GRUNDLAGE
VON MEHRSCHICHTSYSTEMEN
4.
OPTISCHE SCHICHTEN YY
H. KOCH
ZUM EINSATZ REAKTIV D.C.-GESPUTTERTER SILICIUM-
OXINITRIDSCHICHTEN FUER OPTISCHE DV-SCHICHTBAUELE-
MENTE
N. KAISER, H. MUELLER, CH. GLOEDE
WACHSTUM VON MGFG-SCHICHTEN AUF DV-TRANSPARENTEN
SUBSTRATEN
B. HACKER, H. LAUTH, J. MEYER, P. WEISSBRODT
ZR0
2-SCHICHTEN FUER DIE OPTIK
69
78
86
92
100
108
117
129
135
143
SEITE
W. SICHTER
HERSTELLUNG UND EIGENSCHAFTEN GESPUTTERTER SCHICH- 154
TEN AUS ZNS, ZNSE, CDTE, GAAS, INSB, SI, GE UND TE
R. THIELSCH
MODELLIERUNG DER BRECHZAHL REALER OPTISCHER
SCHICHTEN 160
J. BEUBERT
BIN VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG
VON KORRELATIONS
FUNKTIONEN DER GRENZFLKCHENRAUHELTEN EINER OPTI
SCHEN BINFACHSCHICHT NACH DER STREULICHTMETHODE 166
A. LEHMANN
MOEGLICHKEITEN DER AUFKLAERUNG DER ATOMAR-GEOMETRI
SCHEN STRUKTUR AUS INFRAROTSPEKTREN FUER INHOMOGENE
DIELEKTRISCHE SCHICHTEN 173
5.
METASTABIL MNRPHE KOHLENSTOFF SCHICH TEN
V. SCHARFF
I-C-SCHICHT SYSTEME 179
J. ULLMANN
EIGENSCHAFTEN HF-GESTAEUBTER KOHLENSTOFFSCHICHTEN 190
0. STENZEI
IR-EIGENSCHAFTEN VON I-CJH-SCHICHTEN 198
S. FORSCH, G. SCHAARSCHMIDT, F. SCHOLZE
MASSENSPEKTROMETRISCHE IONENANALYSE BEI DER I-C-
ABSCHELDUNG 202
D.V. FEDOSEJEV, V.L. BUKHOVETZ, JU. H. TOLMACHEV,
I.G. VARSHAVSKAJA, S.N. GULJUK 210
DEPOSITION OF CARBON FILMS LN COMBINED ELECTRIC
DISCHARGE
F. JAKSCHIK, B. MEHNERT, W. II OWICK
PLASMACHEMISCHE ABSCHEIDUNG VON SL-C-SCHICHTEN 220
R. DELTSCHEW, G. SUCHANEK, M. ALBERT
ANISOTROPIE DER FOTOELEKTRISCHEN EIGENSCHAFTEN
VON
PCVD A-SITH-SCHICHTEN -
229
6.
ORGANISCHE SCHICHTEN
J. BPPERLEIN
ORGANISCHE PHOTOLEITER 233
H. DRIESCHNER
PORMALKINETISCHE UNTERSUCHUNGEN ZUM DUENKELABFALL
DES OBERFLAECHENPOTENTIALS BEI BLEKTROPHOTOGRA-
PHLSEHEN MIKROFILMEN 243
H. KOEHLER, H. HAUMAENN, 6. HOFMANN
VERWENDUNG VON POLY(VINYLIDENFLUORID/TRIFLUOR-
ETHYLEN)-SCHICHTEN IN PYROELEKTRISCHEN INFRAROT
SENSOREN 251
T. VOLLMANN, C. HEINHARDT, H. FODLESAK
ORGANISCHE CHARGE- RANSFER-KOMPLEXSCHICHTEN 259
V. VOLLMANN, 6. ADAS), L. THRONICKE
KRAEFTESENSOREN AUF DER BASIS ORGANISCHER
CHARGE-TRANSFER-KOMPLEXSCHICHTEN 267
I. W. SCHULZ
HUTZUNG KATALYTISCH AKTIVER SCHICHTEN ALS
SENSOREN 272
7.
AUSGEWAEHLTE VERFAHREN ZUR SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
P. WEISSBRODT, D, MADEMANN, K. SUESS *
SNMS-UNTERSUCHUNGEN AN DUENNEN SCHICHTEN 279
B.P. DOMASHEVSKALA, B.B. DESYATLRIKOVA,
S.N. TROSTYANSKIL, V.A. TEREKHOV
ULTRASOFT X-RAY BMISSLON AS A METHOD OF IHIN
AMORPHOUS LAYERS INVESTIGATION 286
CH. QUICK, P. SCHLEY, J. QUICK
BESTIMMUNG CHARAKTERISTISCHER PARAMETER SEHR DUEN
NER SI-BPITDXIE SCHICHTEN AUS DEM IR-HE FLEXIONS-
SPEKTRUM 291
J. -TH. BETTLER
LIT.IVBB
- EIN PROGRAMMSYSTEM FUER ANALYSE, MODELLIE
RUNG UND DESIGN ALLER OPTISCHEN MESSGROESSEN DEP VIEL-
SOHICHTSYSTEMS AUF DEM IHL-PC 298
H.
6
. EBERL, E, SCHNUERER,
3
. STROEPFEL
RFINTGENSTRUKTUR REAKTIV.GESPUTTERTER
INDLUBZINNOXLD-SCHLCHTEN 303 |
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