Wilson, A. D. (1983). X-ray lithography and applications of soft x-rays to technology: October 19-20, 1983, Upton, New York. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Wilson, Alan D. X-ray Lithography and Applications of Soft X-rays to Technology: October 19-20, 1983, Upton, New York. Bellingham, Wash: SPIE, 1983.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Wilson, Alan D. X-ray Lithography and Applications of Soft X-rays to Technology: October 19-20, 1983, Upton, New York. SPIE, 1983.
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