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Berg, S. (1992). Der Einfluß von Kontaminationseffekten auf die mechanischen Eigenschaften von magneto-gesputterten TiN- Schichten. VDI-Verl.

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Berg, Siegfried. Der Einfluß Von Kontaminationseffekten Auf Die Mechanischen Eigenschaften Von Magneto-gesputterten TiN- Schichten. Düsseldorf: VDI-Verl, 1992.

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Berg, Siegfried. Der Einfluß Von Kontaminationseffekten Auf Die Mechanischen Eigenschaften Von Magneto-gesputterten TiN- Schichten. VDI-Verl, 1992.