Der Einfluß von Kontaminationseffekten auf die mechanischen Eigenschaften von magneto-gesputterten TiN- Schichten:
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| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1992
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| Schriftenreihe: | Fortschrittberichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe
280 |
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