Gettering and defect engineering in the semiconductor technology: GADEST' 89 ; proceedings of the 3rd International Autumn Meeting ; Garzau, German Demokratic Republic October 8 - 13, 1989
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Kittler, M. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Brookfield Sci-Tech Publ 1989
Beschreibung:XI, 607 S.

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