Introduction to microelectronic fabrication:
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Jaeger, Richard C. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Reading, Mass. [u. a.] Addison-Wesley 1995
Ausgabe:repr. with corr., 11. print.
Schriftenreihe:Modular series on solid state devices 5
Schlagworte:
Beschreibung:XIII, 232 S. graph. Darst.
ISBN:0201146959

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