Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1983
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 105 Bl. Ill. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a22000002c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV024965294 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 100417s1983 a||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)722623714 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV024965294 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-11 | ||
| 100 | 1 | |a Rensch, Uta |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium |c Uta Rensch |
| 264 | 1 | |c 1983 | |
| 300 | |a 105 Bl. |b Ill. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Ilmenau, Techn. Hochsch., Diss. A, 1983 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 856 | 4 | 2 | |m GBV Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019633673&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019633673 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804141987931095040 |
|---|---|
| adam_text | UNTERBUCHUNG DER STRUKTURAUEOILDUNG DUENNER AIN-SCHICHTEN AUF
EINKRISTALLINEM SILIZIUM DISSERTATION ZUR* ERLANGUNG DES AKADEMISCHEN
GRADES DR.-ING. EINGEREICHT BEI DER FAKULTAET FUER TECHNISCHE
WISSENSCHAFTEN DES WISSENACHAFTLICHEN RATES DER TECHNISCHEN HOCHSCHULE
ILMENAU VORGELEGT VON DIPL.-ING. UTA RENSCH GEB. AM: 28. 6. 1952 IN:
BAALSDORF GUTACHTER: PRCF. **,~1**) HABIT. NIHSCHE , TH JLMENAU PROF,
DR. RER. NCRT. MAU T TU CAD SCHCRLEMMER MERSEBUI DEZ.. 3 R, -JNCJ,
HABIT, SSERNHARD, HUMBOLDT-UNIVERSITAET EINGEREICHT AMI Z6.GIM
VERTEIDIGUNG AM: 4% * $%** INHALTSVERZEICHNIS 1. EINLEITUNG 2.
ERGEBNISSE DES LITERATURSTUDIUMS 2.1. PEINSTRUKTUR VON AIH 2.2.
HERSTELLUNG UND EIGENSCHAFTEN VON A1N-SCHICHTEN 2.2.1.
SCHICHTHERSTELLUNG 2.2.2. A1N AUF SI ALS SUBATRATMATERIAL 2.2.3. EINIGE
SCHLUSSFOLGERUNGEN AUS DER KOMBINATION AIN/SAPHIR 2.3. ZUSAMMENFASSUNG
DEE LITERATURSTUDIUMS UND DARAUS ABGELEITETE ZIELSTELLUNG DER ARBEIT 3.
DURCHFUEHRUNG DER EXPERIMENTE 3.1. HERSTELLUNG DER AIN-SCHICHTEN 3.2.
UNTERSUCHUNGEN ZUM STRUKTURELLEN AUFBAU DER A1N-SCHICHTEN 3.2.1.
ELEKTRONENBEUGUNGSUNTERSUCHUNGEN 3.2.2. ROENTGENOGRAPHISCHE UNTERSUCHUNG
3*3» SCHICHTSPARMUNGEN 3.3.1. ERMITTLUNG VON SPANNUNGEN 2. UND 3. ART
SOWIE DER GROESSE KOHAERENT STREUENDER BEREICHE (TEILCHENGROESSE) UEBEI DAS
INTERFERENZLINIENPROFIL 3.4. OBERFLAECHENMORPHOLOGIE VON A1N-SCHICH~ TEN
3.4.1. ELEKTRONENMIKROSKOPISCHE ABDRUCKVER- FAHREN 3.4.2.
RASTERELEKTRONENNIKROSKOPIE 4. DARSTELLUNG DER ERGEBNISSE * 4.1. EINFLUSS
DER HERSTELLUNGSPARAMETER AUF DIE STRUKTURELLE PERFEKTION SEITE
ERGEBNISSE DER UNTERSUCHUNGEN ZUR 64 ERMITTLUNG DER SCHICHTSPANNUNGEN
UND ** ILCHENGROESSEN SPANNUNGEN HOEHERER ART 64 **ILCHENGROE SSEN 69
OBERFLAECHENMORPHOLOGIE 72 FEHLERABSCHAETSUNG 80 DISKUSSION 81
ZUSAMMENFASSUNG UND SCHLUSSFOLGERUNGEN 90 VERSEICHNIS HAEUFIG VERWENDETER
SYMBOLE 94 LITERATURVERZEICHNIS 96
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Rensch, Uta |
| author_facet | Rensch, Uta |
| author_role | aut |
| author_sort | Rensch, Uta |
| author_variant | u r ur |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV024965294 |
| ctrlnum | (OCoLC)722623714 (DE-599)BVBBV024965294 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01034nam a22002772c 4500</leader><controlfield tag="001">BV024965294</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">100417s1983 a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)722623714</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV024965294</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Rensch, Uta</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium</subfield><subfield code="c">Uta Rensch</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1983</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">105 Bl.</subfield><subfield code="b">Ill.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Ilmenau, Techn. Hochsch., Diss. A, 1983</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">GBV Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019633673&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019633673</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV024965294 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:24:37Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019633673 |
| oclc_num | 722623714 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-11 |
| owner_facet | DE-11 |
| physical | 105 Bl. Ill. |
| publishDate | 1983 |
| publishDateSearch | 1983 |
| publishDateSort | 1983 |
| record_format | marc |
| spelling | Rensch, Uta Verfasser aut Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium Uta Rensch 1983 105 Bl. Ill. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Ilmenau, Techn. Hochsch., Diss. A, 1983 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content GBV Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019633673&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Rensch, Uta Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium |
| title_auth | Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium |
| title_exact_search | Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium |
| title_full | Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium Uta Rensch |
| title_fullStr | Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium Uta Rensch |
| title_full_unstemmed | Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium Uta Rensch |
| title_short | Untersuchung der Strukturausbildung dünner AlN-Schichten auf einkristallinem Silizium |
| title_sort | untersuchung der strukturausbildung dunner aln schichten auf einkristallinem silizium |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019633673&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT renschuta untersuchungderstrukturausbildungdunneralnschichtenaufeinkristallinemsilizium |