Kapazitätsspektroskopische Analyse tiefer Störstellen in ionenbestrahltem Silizium:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Irmscher, Klaus (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: 1985
Schlagworte:
Beschreibung:156 Bl. Ill.

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