Hild, R. (1997). Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie: Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hild, Rosemarie. Optische Probleme Der Automatischen Fokussierung, Der Photolithographie Sowie Der Waferinspektion Vom Standpunkt Der Partiell Kohärenten Abbildungstheorie: Simulationsrechnungen Zu Den Physikalischen Grenzen Mikroskopischer Abbildungssysteme in Der Halbleiterindustrie. 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hild, Rosemarie. Optische Probleme Der Automatischen Fokussierung, Der Photolithographie Sowie Der Waferinspektion Vom Standpunkt Der Partiell Kohärenten Abbildungstheorie: Simulationsrechnungen Zu Den Physikalischen Grenzen Mikroskopischer Abbildungssysteme in Der Halbleiterindustrie. 1997.