Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie: Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 147 S., Anh. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV024860618 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 100417s1997 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)722555665 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV024860618 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-11 | ||
| 100 | 1 | |a Hild, Rosemarie |d 1952- |e Verfasser |0 (DE-588)12027972X |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie |b Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie |c von Rosemarie Hild |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a 147 S., Anh. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Jena, Univ., Habil.-Schr., 1997 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019536001 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804141860899258368 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Hild, Rosemarie 1952- |
| author_GND | (DE-588)12027972X |
| author_facet | Hild, Rosemarie 1952- |
| author_role | aut |
| author_sort | Hild, Rosemarie 1952- |
| author_variant | r h rh |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV024860618 |
| ctrlnum | (OCoLC)722555665 (DE-599)BVBBV024860618 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01022nam a2200265 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV024860618</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">100417s1997 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)722555665</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV024860618</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Hild, Rosemarie</subfield><subfield code="d">1952-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)12027972X</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie</subfield><subfield code="b">Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie</subfield><subfield code="c">von Rosemarie Hild</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">147 S., Anh.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Jena, Univ., Habil.-Schr., 1997</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019536001</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV024860618 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:22:35Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019536001 |
| oclc_num | 722555665 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-11 |
| owner_facet | DE-11 |
| physical | 147 S., Anh. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Hild, Rosemarie 1952- Verfasser (DE-588)12027972X aut Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie von Rosemarie Hild 1997 147 S., Anh. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Jena, Univ., Habil.-Schr., 1997 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| spellingShingle | Hild, Rosemarie 1952- Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie |
| title_auth | Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie |
| title_exact_search | Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie |
| title_full | Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie von Rosemarie Hild |
| title_fullStr | Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie von Rosemarie Hild |
| title_full_unstemmed | Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie von Rosemarie Hild |
| title_short | Optische Probleme der automatischen Fokussierung, der Photolithographie sowie der Waferinspektion vom Standpunkt der partiell kohärenten Abbildungstheorie |
| title_sort | optische probleme der automatischen fokussierung der photolithographie sowie der waferinspektion vom standpunkt der partiell koharenten abbildungstheorie simulationsrechnungen zu den physikalischen grenzen mikroskopischer abbildungssysteme in der halbleiterindustrie |
| title_sub | Simulationsrechnungen zu den physikalischen Grenzen mikroskopischer Abbildungssysteme in der Halbleiterindustrie |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT hildrosemarie optischeproblemederautomatischenfokussierungderphotolithographiesowiederwaferinspektionvomstandpunktderpartiellkoharentenabbildungstheoriesimulationsrechnungenzudenphysikalischengrenzenmikroskopischerabbildungssystemeinderhalbleiterindustrie |