Die Entstehung von Eigen-Zwischengitteratomen beim chemisch-mechanischen Polieren von Silizium:
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| Format: | Abschlussarbeit Mikrofilm Buch |
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1978
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INHALTSVERZEICHNIS
BELT*
1
.
NUAMMMS
1
1.1.
MXIS&TMLM
UEAFUHRMIG 1
1
.
2
AINLOFERANG LN 41 KONKRETE M^MKATITK
3
2
BESCHREIBUNG DES BEAVERFAHRENS UND DAR
HESSAPPARATUR 3
2.1. ALLGEMEINE IRLIATFTETTOGTA S
2.2. UEBERSICHT UEBER DL APPARATUR UND ERLAEUTE
RUNGEN SO*
SSTN
OEEE REURGAAGSGERAET
3
2
.
3
. PROFEENHALTERUNG UND LAGE DAR SCEEPUNKTE 10
2.4* KURZ PEHLARFCETRACHTOAG 12
3- ERLAEUTERUNGEN UEBER DES SU DZI YERSTIEHEA
VERSENDETE LHTRT3. 13
4 KTNTLUSS VON FLUSSSAEURE
M
DA SPEZIFISCHEN
WIDERSTAND 14
3 ORIENTIEREND SXPERLAENTE UEBER DA WSRFCAL-
TEN DER SU UNTERSUCHENDEN ST
8
AUASTT 17
3*1* ORIENTIERENDE MESSUNGEN DES SPEZIFISCHEN
WIDERSTANDES NACH VERSCHIEDENEN OBERFLAE-
CHENBEHAADLUNGEN 17
3*2. HAI LEFF EKTAESAUNGAA 20
6
. UMRECHNUNG DAR UDERSTANDSERHAEBUNGEN LN
STDRAENTRENKONSENTRATIONEN
22
7* UNTERSUCHUNGEN, BEI SICHER BEARBEITUNGA-
STUFE DI STSRZENTREN ENTSTEHEN 23
7.1. UNTERSUCHUNGEN DER BEARBELTUAGSSTUFEN TUT
DEM POLIEREN 23
7.2* UNTERSUCHUNG DES CHEMISCH-CHANISCHEN
POLIERENS MIT 12-QIAI NOUEBHAA-JLTHYLEN-
IGRI RW^KNAAFCA HM1
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/810636867
. HELFE
7.3. UNTERSUCHUNG DES GHEMJGPHME EBEN! NEBEN
POLIEREN* MM
1,^FLA]JTMII4U8L|
29
7*4. UNTERSUCHUNG DE* POLIEREN MIT
MM
ML*
***** 50
8. IDENTIFIZIERUNG DAR STDRAENTREA ALS
JFITGEN-SHRIACHENGLFCTERABAME 30
8.1. ALLGEMEIN* BETRACHTUNGEN 30
8.2. OBER DIE SATUR DER STLIZIUM^BTEEN-
ZWISCHENGITTERABOAE 5T
3.3. MATHEMATISCHE BETRACHTUNGEN 34
8.3.1. ALLGEMEINES
34
8.3.2. MATHEMATISCHE BEZIEHUNG DAR MITTLER!
SSFEOERA ENFCREAKONT EMFCRATION IN ABHAENGIGKEIT
VON DER SEIT ^ 35
8.3.3. ZUR BERECHNUNG EEN X* NS &* AD 0 38
8.3.4. SPEZI ALFAELLE 40
8.3.4.1. UNGEHEMMTER MASSENTLBERGEASS AUF DIE OHEJS-
FLAECHE 40
8
.
5
.
4
.2. STARK GEHEMMTER UEBERGANG AUEF DIE OBER
FLAECHE 42
8.3.5. DISKUSSION DER MATHEMATISCHEN BEZIEHUNGEN 43
8.4. ERZEUGUNG TOO ELGEC-BRNLSCHENGITTERATEMEM
DURCH IB SCHRECKEN 45
8.3.
ABKLINGVERHALTEN DER DURCH POLIEREN AD
DURCH ABSCHRECKEN ERZEUGTEN STOERSEATREN
NACH VERACHTEDENEN OBARXLAC HENBEHAADLUNGEN 47
8.5*1. GRUND NUETZLICHE AUSFOHRUNGEN. 47
8
.
5
.
2
. UNTERSUCHUNGEN AN EINSEITIG GELAEPPTEN
SCHEIBEN 48
3*5.3. UNTERSUCHUNGEN AN BEIDSEITIG GELAEPPTEN
SCHEIBEN 50
8
.
5
.
4.
UNTERSUCHUNGEN AN UNBEHANDELTEN POLIERTEN
SCHEIBEN UND IN FLUSSSAEURE GETAUCHTEN AB GE
SCHRECKTEN SCHEIBEN 52
8.5.5 UNTERSUCHUNGEN AN GEAETZTEN SCHEIBEN 54
8.
5
.6. ZUSEUAIAENFASSENDE FIINSEHAET2UNG 55
SEITE
5*6
AUSHAILEN DER STOERUNGEN BEI CA* 120 C UND
ABGRENZUNG VON DEN TNARMODONATOREN 57
9
.
VERHALTEN DER SILIZLUA-AEIGEN-ZEIACBENGITTER
AT OIAE UNTER BESONDEREN BEDINGUNGEN 59
9. I. ALLGEMEINES 59
9
.
2
. EINFLUSS VON LIEBT AUF DIE AUAHEIL VORGAENGE 60
9,2.1. EINFUEHRUNG IN DIE PROBLEMATIK AND BRLAEUTE-
RUNG
DER FER SUCHSDURCHFUEHRUNG
60
ORIENTIERENDE MESSUNGEN AN ABGE SCHRECKTEN
UND KURZ IN FLUSS SAEURE GETAUCHTEN SCHEIBEN 62
9
.
2
.
3
.
SYSTEMATISCHE UNTERSUCHUNGEN AN SCHEIBEN
MIT GEZIELTER OBERFLAECHENBEHANDLUNG 64
9
O
2
.
3
.
1
. UNTERSUCHUNGEN NACH ATZUNG MIT EINEM
FLUSSOAEURE-SALPTETERSAEURE-GEMISCH NACH DEM
ABSCHRECKEN 64
9
. -.
3
.
2
.
UNTERSUCHUNGEN NACH INTENSIVER BEHANDLUNG
MIT FLUSSSAEURE
66
9
.
2
.
3
.
3
.
UNTERSUCHUNGEN NACH ATZUNG MIT EINEM
FL U SAEURE-SALPE TERSAEURE-BSAIGSAEURE-GOSIISCH
NACH DEM ABSCHRECKEN 69
9
.
3
. ZUM DIFFUSIONSPROZESS UNTER ERHOEHTEN TEMPE
RATUREN TD
. DISIOISSION DER ERGEBNISSE IN ZUSANWEAHANG
MIT DEM VERWENDETEN DIFFUSIONSOODELL 75
DISKUSSION UEBER DIE VERSCHIEDENEN BEREICHE
IN DEN ABKLINGKURVEN 76
DISKUSSION VON WIDEROPRUECI^EN LN DER IDTERER-
TUR UNTER DEM GESICHTSPUNKT EINER MOEGLICHEN
LICHFCEINWIRKUNG 76
AUSSAGEN UEBER DIE DIFFUSIONSKONCTANTE D
UND DIE MASSENUEBERG&NGSZAHL K* 61
10
.
ERKLAERUNG DER ENTSTEHUNG VON EIGEN-ZWISCHEN-
GITTERATOMEN BEIM CHEMISCH-MECHANISCHEN
POLIEREN 63
ZUSAMMENFASSUNG
11
.
TABELLEN
LITERATURVERZEICHNIS
86 |
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