Untersuchungen zur emissionsspektrographischen Bestimmung von Germanium und Zinn in AIIIB-1hnV- Halbleitern [AB-Halbleitern] und zur Plasmadiagnostik durch photographische Äquidensitometrie spektraler Photogramme:
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IEHALT SVERZEICHKIS
SEIT
1. EINLEITUNG UND AUFGABENSTELLUNG 1
2. THEORETISCHE GRUNDLAGEN
2.1 J ER ELEKTRISCHE LICHTBOGEN UND DIE SPEK-
TROCHEMISCH NICHTIGSTEN EINFLUSSGROESSEN
ELEKTRONENDRUCK,TEMPERATUR UND TRANS*
PORTGEECHWINDIGKEIT 3
2.1.1 ALLGEMEINE BEMERKUNGEN IW BOGEN 3
2.1.2. PLASMA UND LOKALES THEIMISCHES GLEICHGE
WICHT 4
2.1.3. TEMPERATUR UND ELEKTRONENDRUCK 5
2.1.4. TRANSPORTPROZESSE 6
2.2. DER MATRIXEFFEKT 6
2.2.1. CHEMISCHE MATRIXEFFEKTE 7
2.2.2. PHYSIKALISCHE MATRIXEFFEKTE 8
2.2.3. DIE VERHINDERUNG VON MATRIXEFFEKTEN 8
2.3. MATHEMAT LECHE AUSWERTUNG DER VERSUOHSER-
GEBNISSE 10
3. DIE ANALYTISCHE BESTIMMUNG VON GERMANIUM
UND ZINN LN HALBLEIT MATERIELLEN 12
3*1. ALLGEMEINE CHARAKTERIEIERUNG VON HALB
LEITERN 12
3.2. LITERATURUBERSICHT ZUR HALBLEITERANALYTIK 13
3.2.1. VERTEILUNGS- UND PROFILANALYS 13
3
.
2
.
2
.
GBERFLAECHENANAIYSE 14
3.2.3. VOIUMENANALYSE 14
3.3. DIE ANALYTISCHE BESTIMMUNG VON GERMANIUM
UND ZINN IN GALLIUMPFTOSPHID UND GALLIUM
NITRID 15
3.3.1. OPTIMIERUNG DES VERFAHRENS 15
3.3.2. AUSWAHL DER ANALYSEN- UND REFERENZLINIEN 24
3.3.3. ARBEITEVORSCHRIFT 25
3.3.4. ERGEBNISSE UND UEBERPRUEFUNG DES VERFALLENE 27
3
.
4
.
DIE ANALYTISCHE BESTIMMUNG VON GERMANIUM
UND ZINN IN INDIUMARSENID 30
3.4.1. OPTIMIERUNG DES VERFAHRENS 30
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/790955172
SAITE
3.4.2. WAHL DER ANALYSEN- UND ROF ERSNSLIAIEN
33
3.4.3. ARBEITSVORACHRIFT
35
3.4.4. ERGEBNIESE UND DEREN UEBERPRUEFUNG AN SYN
THETISCHEN PROBEN
36
3.5. ZUSAAOSENFAASUNG 37
4. DIE IQUIDENOITOMETRIE - EINE METHODE
ZUR BEWERTUNG VON VIELKOMPONENTENPLAAMEN
39
4.1. EINFUEHRENDE BEMERKUNGEN UND AUFGABEN
STELLUNG
39
4.2. GRUNDLAGEN DER AEQUIDENSITOMETRIE
40
4.3. EXPERIMENT EILE DURCHFUEHRUNG 42
4.3.1. APPARATIVER AUFBAU UND AUFNAHMEBEDIN
GUNGEN 42
4.3.2. PROBENSUSAMMENSE TSISAG
45
4.3.3. PHOTOMETRIACHE AUSWERTUNG
48
4.4. BETRACHTUNGEN ZUR ZEITABHAENGIGEN AXIALEN
INTENSITOETSRERTEILUNG VON DOTIERUNGEN IM
GAP - BOGEN 52
4.4.1. ME AEQUIDENSITOGRAAME BEI ANODISCHER
PULVERPROBEN VERDAMPFUNG 52
4.4.2. DIE AEQUIDENSITOGRAMEE VON ANODISOH UND
KATODISCH VERDAMPFTEN LOEBILLIGSTROOKEN-
RUECKATAENDEN
64
4.4.3. VERGLEICH DER AEQULDENSITOGRAAAE AUS BEI
DEN VERDAMPFUNGARTEN
71
4.4.3.1. DER EINFLUSS DES IONISATIONAPOTENTIALS
DER DOTIERUNGSELEMENTE AUF DIE VERTEI
LUNG IM BOGENPLA'FSMA 7 T
4.4.3.2. DER EINFLUSS DES IONISATIONSZUSTANDES AM
BEISPIEL EINER ATOM- UND XONENLINIE VON
MAGNESIUM ^ 75
4.4.3.3. VERGLEICH DER MATRIXEIEMENTAEQUIDENSITO-
GRAMME 78
4.5. DER EINFLUSS UNTERSCHIEDLICHER MATRICES
AUF DIE AQUIDENSLTOGRAMME DER DOTIERUNGS
ELEMENTE ALUMINIUM, ZINN UND BERYLLIUM 81
4
.
5
.
1
.
EINFUEHRENDE BEMERKUNGEN 81
4.5.2. ANODISCHE VERDAMPFUNG AUS EINER KRATER
ELEKTRODE 82
VJI
SEIT
4.5 3. ANODISCHE UND KATODIAOHE VERDAMPFUNG
VON LOESUNGSTROCKENRUECKSTOENDEA BQ
4.5.4 DER VERGLEICH ZWISCHEN BEIDEN VER
DAMPFUNG STARTEN
94
4.5.4.1. DAS SYSTEM Q&AS / GA^ASO^3"* 94
4.5.4.2. DIE SYSTEME ZNO / ZN^CL* UND
P / P0
43
"CI" 97
4.5.4.3. VERGLEICH DER BERYLLIUM-AEQULDENSITO-
GRERAME IN ALLEN ANGEWANDTEN MATRIOES
101
4.6. ZUSAMMENFASSUNG 103
5. DIE TEMPERATURBEATIOMUNG AM GLEICHSTROM
BOGENPLASMA AUS AEQUIDENEITOGRAAMEN 106
5.1. TEMPERATURBEETIRANXUNGSMETHODEN AUS RELA
TIVEN LINIENINT ENOEITGTEN 108
5.2. DIE BERECHNUNG VON PLAAMATEAQPERATUREN
AUS AQUIDENSITOGRAAAAEN 110
5.2.1. PROBLEMSTELLUNG 110
5.2.2. TEMPERATURBEATIMNUNG AUS AEQUIDENSITO
GRAAMEN
111
5.2.3. DIE KLASSISCHE 2 LINIEN METHODE 115
.2.4. DISKUSSION DER METHODE 116
.3. ZUSAMMENFASSUNG 119
6. DIE ANWENDUNG DER AEQUIDENSITOMETRIE AM
BEISPIEL DER OPTIMIERUNG DER ANALYTI
SCHEN BESTIMMUNG VON ZINN IN GALLIUM
PHOSPHID 120
6.1. PRINZIPIELLE MOEGLICHKEITEN DER ANALY
TISCHEN ANWENDUNG 120
6.2. DIE BESTIMMUNG VON ZINN IN GALLIUM
PHOSPHID ^ 122
6.2.1. DIE OPTISCHE ANORDNUNG 122
6.2.2. WAHL DES REFERENZELERAENTES UND OPTI
MIERUNG DES VERFAHRENS 123
6.2.3. ARBEITSVORSCHRIFT 124
6.2.4. DISKUSSION DER ERGEBNISSE 125
6
.
3
.
ABSCHLIESSENDE BEMERKUNGEN ZUR VORGE
STELLTEN METHODE 127
8
ZUOEAMMENFASOEURTG
LI
TERATURVER*EICHI
SEIT
128
132 |
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