Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1993
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 95 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV024788228 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 100417s1993 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 931467489 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)75414903 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV024788228 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-11 | ||
| 088 | |a KfK 5195 | ||
| 100 | 1 | |a Schöning, Michael J. |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren |c Michael Josef Schöning. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Radiochemie, Projekt Mikrosystemtechnik |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Kernforschungszentrum |c 1993 | |
| 300 | |a 95 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1993 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019469988&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019469988 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807865881109200896 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
.
1
2
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
.
3
2.1
POTENTIOMETRISCHE
LONENSENSOREN
.
3
2.1.1
LONENSELEKTIVE
ELEKTRODE
.
3
2.1.2
LONENSENSITIVE
FELDEFFEKTSTRUKTUREN
.
5
2.1.2.1
FELDEFFEKTTRANSISTOR
.
5
2.1.2.2
KONDENSATOR
.
8
2.2
SILBERIODID
ALS
IONENSENSITIVE
MEMBRAN
.
10
3
EXPERIMENTELLES
.
13
3.1
PROBENPRAEPARATION
.
13
3.1.1
MATERIALIEN
UND
STRUKTUREN
.
13
3.1.2
VORBEHANDLUNG
.
15
3.1.3
BESCHICHTUNG
.
16
3.1.3.1
BESCHICHTUNGSTECHNOLOGIE
.
16
3.1.3.2
ANLAGE
.
17
3.1.3.3
HAFTSCHICHT
.
20
3.2
SENSORCHARAKTERISIERUNG
.
21
3.2.1
PHYSIKALISCHE
METHODEN
.
21
3.2.1.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
21
3.2.1.2
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
.
21
3.2.1.3
RUTHERFORD-BACKSCATTERING-SPEKTROSKOPIE
.22
3.2.1.4
TASTSCHNITTMETHODE
.
22
3.2.2
ELEKTROCHEMISCHE
METHODEN
.
23
3.2.2.1
KAPAZITAETS-SPANNUNGS-MESSUNGEN
.
23
3.2.2.2
IMPEDANZSPEKTROSKOPIE
.
26
3.2.2.3
ELEKTROLYTLOESUNGEN
.
27
4
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
29
4.1
KONZEPTION
ZUR
REALISIERUNG
DES
LODIDSENSORS
.
29
4.2
UNTERSUCHUNG
DER
HALBLEITER-ISOLATOR-SUBSTRATE
.
31
4.3
PROZESSOPTIMIERUNG
FUER
DEN
SENSORAUFBAU
.
36
4.3.1
SYSTEM
SI/S^/SISN^AGL
.
36
4.3.1.1
MORPHOLOGIE
.
36
4.3.1.2
KRISTALLSTRUKTUR
UND
ZUSAMMENSETZUNG
.
42
4.3.1.3
LONENSENSITIVITAET
.45
4.3.1.4
EINFLUSS
ZUSAETZLICHER
PRAEPARATIONSSCHRITTE
.
48
4.3.1.5
GEEIGNETER
PARAMETERSATZ
FUER
DIE
BEDAMPFUNGSROUTINE
.
49
4.3.2
SYSTEM
SI/SIO
2
/SI
3
N
4
/CR/AGI
.
50
4.3.2.1
SCHICHTSTRUKTUR
.
50
4.3.2.2
SENSOREIGENSCHAFTEN
.52
4.3.2.2.1
SENSITIVITAET
.
52
4.3.2.2.2
UNTERE
NACHWEISGRENZE
.
53
4.3.2.2.3
REPRODUZIERBARKEIT
.
54
4.3.2.2.4
STABILITAET
.
56
4.3.2.2.5
ANSPRECHVERHALTEN
.
58
4.3.2.2.6
SELEKTIVITAET
.
59
4.3.3
OPTIMIERTER
PARAMETERSATZ
FUER
DEN
LODIDSENSOR
.
63
4.4
MODELLANSAETZE
ZUR
POTENTIALBILDUNG
.65
4.4.1
ELEKTRONISCHES
VERHALTEN
VON
AGL
.
65
4.4.2
REDOXEIGENSCHAFTEN
.
71
4.4.3
PI/PH-SENSITIVITAET
.74
4.5
ISFET-APPLIKATION
.79
5
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
.82
6
LITERATURVERZEICHNIS
.
85
7
ANHANG
.92
AL
BERECHNUNG
DER
FLACHBANDKAPAZITAET
.92
A2
BERECHNUNG
DER
SELEKTIVITAETSKONSTANTEN
.92
A3
LISTE
DER
VERWENDETEN
ABKUERZUNGEN
UND
SYMBOLE
.
93 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Schöning, Michael J. |
| author_facet | Schöning, Michael J. |
| author_role | aut |
| author_sort | Schöning, Michael J. |
| author_variant | m j s mj mjs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV024788228 |
| ctrlnum | (OCoLC)75414903 (DE-599)BVBBV024788228 |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV024788228</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">100417s1993 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">931467489</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75414903</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV024788228</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">KfK 5195</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schöning, Michael J.</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren</subfield><subfield code="c">Michael Josef Schöning. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Radiochemie, Projekt Mikrosystemtechnik</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Kernforschungszentrum</subfield><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">95 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1993</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019469988&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019469988</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV024788228 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-20T00:54:16Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-019469988 |
| oclc_num | 75414903 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-11 |
| owner_facet | DE-11 |
| physical | 95 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| publisher | Kernforschungszentrum |
| record_format | marc |
| spelling | Schöning, Michael J. Verfasser aut Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren Michael Josef Schöning. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Radiochemie, Projekt Mikrosystemtechnik Als Ms. gedr. Karlsruhe Kernforschungszentrum 1993 95 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1993 (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019469988&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Schöning, Michael J. Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren |
| title_auth | Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren |
| title_exact_search | Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren |
| title_full | Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren Michael Josef Schöning. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Radiochemie, Projekt Mikrosystemtechnik |
| title_fullStr | Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren Michael Josef Schöning. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Radiochemie, Projekt Mikrosystemtechnik |
| title_full_unstemmed | Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren Michael Josef Schöning. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Institut für Radiochemie, Projekt Mikrosystemtechnik |
| title_short | Feldeffektstrukturen mit Agl-Aufdampfschichten als chemische Sensoren |
| title_sort | feldeffektstrukturen mit agl aufdampfschichten als chemische sensoren |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=019469988&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT schoningmichaelj feldeffektstrukturenmitaglaufdampfschichtenalschemischesensoren |