Strukturuntersuchungen mit Korrelation zu den Abscheidebedingungen an gesputterten Al2O3- und SiO2-Dünnfilmen:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bender, Arne (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Berlin 1992
Schlagworte:
Beschreibung:139 Bl. Ill.

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