APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Moreau, W. M. (1988). Semiconductor lithography: Principles, practices, and materials. Plenum Pr.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Moreau, Wayne M. Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials. New York, NY <<[u.a.]>>: Plenum Pr, 1988.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Moreau, Wayne M. Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials. Plenum Pr, 1988.