Dreiachsiger Beschleunigungssensor in Oberflächenmikromechanik:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Dresden
TUDpress
2007
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Schriftenreihe: | Dresdner Beiträge zur Sensorik
30 |
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