Dreiachsiger Beschleunigungssensor in Oberflächenmikromechanik:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Reichenbach, Ralf (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Dresden TUDpress 2007
Schriftenreihe:Dresdner Beiträge zur Sensorik 30
Schlagworte:
Beschreibung:XIX, 136 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:9783940046437

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