Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten intergrierten Forodioden:
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Format: | Buch |
Sprache: | Undetermined |
Veröffentlicht: |
Opladen
Westdeutscher Verlag
1982
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Schriftenreihe: | Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen
Nr. 3133 : Fachgruppe Elektrotechnik, Optik |
Beschreibung: | ca. 46 S. |
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