Topographie der elektrischen Eigenschaften der Silizium/Oxid-Grenzschicht und deren technologische Beeinflussung:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Bernt, Helmut (VerfasserIn), Werner, Christoph (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Karlsruhe FIZ Energie, Physik, Mathematik 1981
Schriftenreihe:Forschungsbericht / Bundesministerium fuer Forschung und Technologie : T 81,66
Schlagworte:
Beschreibung:123 S.

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