Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente:
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| Format: | Buch |
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| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
1984
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | KfK
3732. |
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