Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1988
|
| Ausgabe: | Als Ms. vervielfältigt |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 96 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV024514773 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20090910 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 090924s1988 ad|| tm|| 00||| ger d | ||
| 015 | |a 88,B42,0354 |2 dnb | ||
| 035 | |a (OCoLC)180413561 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV024514773 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-83 | ||
| 088 | |a KfK 4414 | ||
| 100 | 1 | |a Mohr, Jürgen |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |c J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer |
| 250 | |a Als Ms. vervielfältigt | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Kernforschungszentrum |c 1988 | |
| 300 | |a 96 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. J. Mohr, 1987 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Genauigkeit |0 (DE-588)4234398-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Synchrotronstrahlung |0 (DE-588)4184235-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Synchrotronstrahlung |0 (DE-588)4184235-2 |D s |
| 689 | 0 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Genauigkeit |0 (DE-588)4234398-7 |D s |
| 689 | 1 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Ehrfeld, Wolfgang |d 1938- |e Verfasser |0 (DE-588)172060230 |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Münchmeyer, Dietrich |e Verfasser |4 aut | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018488915 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804140515580444672 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Mohr, Jürgen Ehrfeld, Wolfgang 1938- Münchmeyer, Dietrich |
| author_GND | (DE-588)172060230 |
| author_facet | Mohr, Jürgen Ehrfeld, Wolfgang 1938- Münchmeyer, Dietrich |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Mohr, Jürgen |
| author_variant | j m jm w e we d m dm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV024514773 |
| ctrlnum | (OCoLC)180413561 (DE-599)BVBBV024514773 |
| edition | Als Ms. vervielfältigt |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01799nam a2200457 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV024514773</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20090910 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">090924s1988 ad|| tm|| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">88,B42,0354</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)180413561</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV024514773</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">KfK 4414</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Mohr, Jürgen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung</subfield><subfield code="c">J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. vervielfältigt</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Kernforschungszentrum</subfield><subfield code="c">1988</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">96 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. J. Mohr, 1987</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Genauigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4234398-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Synchrotronstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184235-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Synchrotronstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184235-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Genauigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4234398-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Ehrfeld, Wolfgang</subfield><subfield code="d">1938-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)172060230</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Münchmeyer, Dietrich</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018488915</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV024514773 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T22:01:12Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018488915 |
| oclc_num | 180413561 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | 96 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1988 |
| publishDateSearch | 1988 |
| publishDateSort | 1988 |
| publisher | Kernforschungszentrum |
| record_format | marc |
| spelling | Mohr, Jürgen Verfasser aut Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer Als Ms. vervielfältigt Karlsruhe Kernforschungszentrum 1988 96 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. J. Mohr, 1987 Genauigkeit (DE-588)4234398-7 gnd rswk-swf Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd rswk-swf Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 s Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 s 1\p DE-604 Genauigkeit (DE-588)4234398-7 s 2\p DE-604 Ehrfeld, Wolfgang 1938- Verfasser (DE-588)172060230 aut Münchmeyer, Dietrich Verfasser aut 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Mohr, Jürgen Ehrfeld, Wolfgang 1938- Münchmeyer, Dietrich Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung Genauigkeit (DE-588)4234398-7 gnd Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4234398-7 (DE-588)4178314-1 (DE-588)4184235-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |
| title_auth | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |
| title_exact_search | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |
| title_full | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer |
| title_fullStr | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer |
| title_full_unstemmed | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung J. Mohr ; W. Ehrfeld ; D. Münchmeyer |
| title_short | Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung |
| title_sort | analyse der defektursachen und der genauigkeit der strukturubertragung bei der rontgentiefenlithographie mit synchrotronstrahlung |
| topic | Genauigkeit (DE-588)4234398-7 gnd Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Synchrotronstrahlung (DE-588)4184235-2 gnd |
| topic_facet | Genauigkeit Röntgenlithografie Synchrotronstrahlung Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT mohrjurgen analysederdefektursachenunddergenauigkeitderstrukturubertragungbeiderrontgentiefenlithographiemitsynchrotronstrahlung AT ehrfeldwolfgang analysederdefektursachenunddergenauigkeitderstrukturubertragungbeiderrontgentiefenlithographiemitsynchrotronstrahlung AT munchmeyerdietrich analysederdefektursachenunddergenauigkeitderstrukturubertragungbeiderrontgentiefenlithographiemitsynchrotronstrahlung |