Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis und grosser Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren):
Saved in:
| Format: | Book |
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| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1985
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