Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis und grosser Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren):
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1985
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| Ausgabe: | Als Ms. vervielfältigt |
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| Beschreibung: | 33 S. Ill., graph. Darst. |
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