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(1985). Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhältnis und grosser Strukturhöhe durch Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren) (Als Ms. vervielfältigt.). Kernforschungszentrum.

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Herstellung Von Mikrostrukturen Mit Grossem Aspektverhältnis Und Grosser Strukturhöhe Durch Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung Und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren). Als Ms. vervielfältigt. Karlsruhe: Kernforschungszentrum, 1985.

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Herstellung Von Mikrostrukturen Mit Grossem Aspektverhältnis Und Grosser Strukturhöhe Durch Röntgentiefenlithographie Mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung Und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren). Als Ms. vervielfältigt. Kernforschungszentrum, 1985.