Berührungslose Oberflächencharakterisierung von Mikrostrukturen:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2003
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| Schriftenreihe: | Berichte aus der Physik
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| Beschreibung: | VI, 134 S. Ill., graph. Darst. |
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