Barnat, E. V., & Lu, T. (2003). Pulsed and pulsed bias sputtering: Principles and applications. Kluwer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Barnat, Edward V., und Toh-Ming Lu. Pulsed and Pulsed Bias Sputtering: Principles and Applications. Boston <<[u.a.]>>: Kluwer, 2003.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Barnat, Edward V., und Toh-Ming Lu. Pulsed and Pulsed Bias Sputtering: Principles and Applications. Kluwer, 2003.
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